Mae ACCRETECH Probe Station UF3000EX yn ddyfais canfod signal trydanol ar gyfer pob sglodyn ar bob wafer, wedi'i gynllunio i sicrhau ansawdd cynhyrchion lled-ddargludyddion. Mae'r ddyfais yn defnyddio technoleg cenhedlaeth nesaf, sy'n gwella gallu cynhyrchu yn sylweddol trwy algorithmau newydd a thechnoleg trin wafferi. Mae ei lwyfannau echel X ac Y cyflym, swn isel yn elwa o'r system yrru newydd, tra bod yr echel Z yn sicrhau gallu llwyth o'r radd flaenaf a manwl gywirdeb uchel. Mae strwythur dylunio'r ddyfais yn dileu'r grym ar yr awyren yn ddibynadwy trwy'r cyfuniad da o'r dyluniad strwythurol gorau posibl a'r topoleg. Yn ogystal, mae'r system prosesu sefyllfa OTS uwch a'r system alinio delwedd wafferi lliw, yn ogystal â'r swyddogaeth chwyddo uchafswm bach sydd wedi'i chyfarparu, yn gwneud UF3000EX yn ddyfais hynod fanwl a gweithredadwy yn y diwydiant.
Prif Nodweddion
Cyflymder uchel a sŵn isel: Mae'r system yrru newydd yn gwneud i'r llwyfannau echel X ac Y redeg yn effeithlon ac yn dawel.
Cywirdeb uchel: Mae'r echelin Z yn sicrhau gallu llwyth o'r radd flaenaf a manwl gywirdeb uchel.
Optimeiddio strwythurol: Mae'r grym ar yr awyren yn cael ei ddileu trwy'r cyfuniad da o ddyluniad strwythurol a thopoleg optimaidd.
System leoli uwch: Yn meddu ar system brosesu sefyllfa OTS uwch a system alinio delwedd wafferi lliw, gyda swyddogaeth chwyddo chwyddo uchafswm bach.
Cydnawsedd: Yn addas ar gyfer wafferi diamedr mawr (φ300 mm, hyd at 12 modfedd), gyda system weithredu awtomatig, canfod manwl uchel, trwybwn uchel, dirgryniad isel, ac ati.
Maes cais
Defnyddir gorsaf archwilio UF3000EX yn eang mewn profion wafferi yn y broses weithgynhyrchu lled-ddargludyddion, yn enwedig yn llinellau cynhyrchu LSI a VLSI, a all ddarparu canfod signal trydanol effeithlon a chywir i sicrhau ansawdd y cynnyrch ac effeithlonrwydd cynhyrchu