Sửa chữa bằng tia laser UV độ chính xác cao DISCO

Dòng sản phẩm DISCO (Japan DISCO) ORIGAMI XP là hệ thống cắt laser UV có độ chính xác cao được thiết kế chuyên dụng để xử lý các vật liệu giòn như bao bì bán dẫn, bảng mạch mềm FPC, tấm wafer LED, v.v. Các ưu điểm cốt lõi của hệ thống bao gồm:

Bước sóng: 355nm (tia cực tím), xử lý lạnh

Độ chính xác định vị: ±1μm (với định vị trực quan CCD)

Tốc độ cắt: lên đến 500mm/giây (tùy thuộc vào độ dày vật liệu)

Loại bỏ bụi thông minh: tích hợp hệ thống thổi N2 và hấp phụ tĩnh điện

II. Chẩn đoán lỗi thường gặp và giải pháp

1. Giảm công suất laser/không ổn định

Nguyên nhân có thể:

Lão hóa tinh thể laser cực tím (Nd:YVO₄) (tuổi thọ khoảng 8.000-10.000 giờ)

Sự ô nhiễm bề mặt của tinh thể tăng gấp đôi tần số (LBO)

Độ lệch căn chỉnh quang học (do rung động)

Các bước bảo trì:

Phát hiện quang phổ:

Sử dụng máy đo công suất để đo đầu ra 355nm, độ suy giảm> 15% cần hiệu chuẩn đường dẫn quang

Bảo dưỡng tinh thể:

Làm sạch tinh thể LBO bằng etanol khan + tăm bông không bụi (không chạm vào bề mặt phủ)

Hiệu chuẩn đường dẫn quang học:

Sử dụng thiết bị đặc biệt DISCO để điều chỉnh góc phản xạ (yêu cầu mật khẩu ủy quyền)

2. Vị trí cắt bị trôi (độ chính xác bất thường)

Các điểm kiểm tra chính:

Tiêu điểm của camera CCD:

Vệ sinh ống kính và thực hiện lại hiệu chuẩn "Tự động lấy nét"

Thanh ray dẫn hướng của bệ chuyển động:

Kiểm tra phản hồi của bộ mã hóa động cơ tuyến tính (báo động ERR 205 là phổ biến)

Vật liệu cố định hấp phụ chân không:

Độ chân không cần phải >80kPa (ống hút gốm xốp sạch)

Phương pháp xác minh nhanh:

Cắt mẫu lưới chuẩn và so sánh độ lệch giữa bản vẽ thiết kế và đường dẫn thực tế

3. Xử lý mã báo động hệ thống

Mã báo động Ý nghĩa Xử lý khẩn cấp

ALM 102 Nhiệt độ đầu laser quá cao Kiểm tra lưu lượng nước làm mát (cần >2L/phút)

ALM 303 Khóa liên động an toàn được kích hoạt Xác nhận trạng thái của cảm biến cửa bảo vệ

ALM 408 Áp suất hệ thống loại bỏ bụi không đủ Thay bộ lọc HEPA (mỗi 500 giờ)

III. Kế hoạch bảo trì phòng ngừa

1. Bảo trì hàng ngày

Làm sạch các mảnh vụn còn sót lại trong khu vực xử lý (để ngăn chặn sự hấp phụ tĩnh điện làm ô nhiễm cửa sổ quang học)

Ghi lại dữ liệu công suất laser (biến động phải <±3%)

2. Bảo trì hàng tháng

Thay nước làm mát (độ dẫn điện <5μS/cm)

Bôi trơn thanh ray trục X/Y (sử dụng mỡ bôi trơn DISCO)

3. Bảo trì chuyên sâu hàng năm

Kiểm tra toàn bộ đường dẫn quang học của tia laser UV (yêu cầu thiết bị hiệu chuẩn gốc)

Thay dầu bơm chân không và kiểm tra phớt

IV. Chiến lược tối ưu chi phí bảo trì

1. Kế hoạch giảm chi phí mô-đun laser

Thành phần Chi phí thay thế ban đầu Kế hoạch thay thế Tỷ lệ tiết kiệm

Tinh thể Nd:YVO₄ ¥180.000 Tinh thể tái tạo của bên thứ ba ¥80.000 55%

Nhóm thấu kính hội tụ ¥65.000 Thấu kính thạch anh nung chảy trong nước ¥15.000 77%

Thẻ điều khiển chuyển động ¥120.000 Bảo trì cấp chip ¥25.000 79%

2. Kỹ năng chính

Kéo dài tuổi thọ của tinh thể laser:

Giảm nhiệt độ hoạt động từ 25℃ xuống 20℃ có thể tăng tuổi thọ lên 40%

Chứng nhận hàng tiêu dùng trong nước:

Bộ lọc HEPA, đầu hút chân không, v.v. đã vượt qua bài kiểm tra khả năng tương thích DISCO

V. Các trường hợp thành công

Nhà máy đóng gói bán dẫn (5 ORIGAMI XP)

Vấn đề:

Chi phí bảo trì hàng năm vượt quá 1.200.000 Yên, chủ yếu là do phải thay thế tinh thể UV thường xuyên

Giải pháp của chúng tôi:

Lắp đặt mô-đun điều khiển vòng kín nhiệt độ tinh thể

Sử dụng phương pháp đánh bóng bằng laser thay vì thay thế tinh thể

Kết quả:

Chu kỳ thay tinh thể kéo dài từ 8 tháng lên 3 năm

Chi phí toàn diện hàng năm giảm xuống còn 400.000 Yên

VI. Hỗ trợ kỹ thuật

Hàng tồn kho phụ tùng: Mô-đun quang học UV, bảng điều khiển chuyển động, v.v.

Chẩn đoán từ xa: Phân tích nhật ký thiết bị thông qua nền tảng DISCO Connect

Nhận giải pháp bảo trì tùy chỉnh

Liên hệ với các chuyên gia bảo trì laser của chúng tôi miễn phí:

"Sổ tay hướng dẫn tham khảo nhanh mã báo động ORIGAMI XP"

Báo cáo đánh giá tình trạng thiết bị của bạn

Thực hiện các dịch vụ tại địa phương theo tiêu chuẩn quy trình của Nhật Bản để đảm bảo hoạt động hiệu quả và ổn định của thiết bị cắt chính xác

—— Nhà cung cấp dịch vụ bảo trì thiết bị laser DISCO tại Châu Á Thái Bình Dương