ACCRETECH Probe Station UF3000EX — це пристрій виявлення електричного сигналу для кожного чіпа на кожній пластині, призначений для забезпечення якості напівпровідникових виробів. Пристрій використовує технологію нового покоління, яка значно покращує виробничу потужність завдяки новим алгоритмам і технології обробки пластин. Його високошвидкісні та малошумні платформи осей X та Y користуються перевагами нової системи приводу, тоді як вісь Z забезпечує вантажопідйомність світового рівня та високу точність. Конструктивна конструкція пристрою надійно усуває зусилля на площині завдяки вдалому поєднанню оптимального структурного дизайну та топології. Крім того, передова система обробки позиції OTS і система вирівнювання кольорових пластинчастих зображень, а також оснащена функція невеликого максимального збільшення роблять UF3000EX високоточним і працездатним пристроєм у промисловості.
Основні характеристики
Висока швидкість і низький рівень шуму: завдяки новій системі приводу платформи осей X і Y працюють ефективно і тихо.
Висока точність: вісь Z забезпечує вантажопідйомність світового класу та високу точність.
Структурна оптимізація: сила, що діє на площину, усувається завдяки вдалому поєднанню оптимальної структурної конструкції та топології.
Удосконалена система позиціонування: оснащена вдосконаленою системою обробки позицій OTS і системою вирівнювання кольорових пластинчастих зображень із функцією збільшення малого максимального збільшення.
Сумісність: підходить для пластин великого діаметру (φ300 мм, до 12 дюймів), з автоматичною операційною системою, високоточним виявленням, високою пропускною здатністю, низьким рівнем вібрації тощо.
Область застосування
Зондова станція UF3000EX широко використовується для тестування пластин у процесі виробництва напівпровідників, особливо у виробничих лініях LSI та VLSI, які можуть забезпечити ефективне та точне виявлення електричного сигналу для забезпечення якості продукції та ефективності виробництва.