ซ่อมเลเซอร์ UV ความแม่นยำสูง DISCO

ซีรีส์ DISCO (Japan DISCO) ORIGAMI XP เป็นระบบการตัดด้วยเลเซอร์ UV ที่มีความแม่นยำสูงซึ่งออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับการประมวลผลวัสดุเปราะบาง เช่น บรรจุภัณฑ์เซมิคอนดักเตอร์ แผงวงจรแบบยืดหยุ่น FPC แผ่นเวเฟอร์ LED เป็นต้น โดยมีข้อได้เปรียบหลักดังนี้:

ความยาวคลื่น: 355nm (อัลตราไวโอเลต), การประมวลผลแบบเย็น

ความแม่นยำในการวางตำแหน่ง: ±1μm (พร้อมการวางตำแหน่งภาพ CCD)

ความเร็วในการตัด: สูงสุด 500 มม./วินาที (ขึ้นอยู่กับความหนาของวัสดุ)

การกำจัดฝุ่นอัจฉริยะ: ระบบการเป่า N2 และการดูดซับไฟฟ้าสถิตแบบบูรณาการ

II. การวินิจฉัยและการแก้ไขข้อบกพร่องทั่วไป

1. การลดกำลังของเลเซอร์/ความไม่เสถียร

สาเหตุที่เป็นไปได้:

การเสื่อมสภาพของคริสตัลเลเซอร์อัลตราไวโอเลต (Nd:YVO₄) (อายุการใช้งานประมาณ 8,000-10,000 ชั่วโมง)

การปนเปื้อนของพื้นผิวของคริสตัลที่เพิ่มความถี่เป็นสองเท่า (LBO)

การชดเชยการจัดตำแหน่งแสง (เกิดจากการสั่นสะเทือน)

ขั้นตอนการบำรุงรักษา:

การตรวจจับสเปกตรัม:

ใช้เครื่องวัดกำลังเพื่อวัดเอาต์พุต 355 นาโนเมตร การลดทอน>15% ต้องมีการสอบเทียบเส้นทางแสง

การบำรุงรักษาคริสตัล:

ทำความสะอาดคริสตัล LBO ด้วยเอธานอลไร้น้ำ + สำลีไร้ฝุ่น (อย่าสัมผัสพื้นผิวเคลือบ)

การสอบเทียบเส้นทางแสง:

ใช้อุปกรณ์พิเศษ DISCO เพื่อปรับมุมของตัวสะท้อนแสง (จำเป็นต้องมีรหัสผ่านการอนุญาต)

2. ตำแหน่งการตัดดริฟท์ (ความแม่นยำผิดปกติ)

จุดตรวจสำคัญ:

โฟกัสกล้อง CCD:

ทำความสะอาดเลนส์และปรับเทียบ "โฟกัสอัตโนมัติ" อีกครั้ง

รางนำทางแพลตฟอร์มการเคลื่อนไหว:

ตรวจสอบการตอบรับของตัวเข้ารหัสมอเตอร์เชิงเส้น (สัญญาณเตือน ERR 205 เป็นเรื่องปกติ)

วัสดุการดูดซับสูญญากาศคงที่:

ระดับสุญญากาศต้อง >80kPa (ถ้วยดูดเซรามิกที่มีรูพรุนสะอาด)

วิธีการตรวจสอบอย่างรวดเร็ว:

ตัดรูปแบบตารางมาตรฐานและเปรียบเทียบค่าเบี่ยงเบนระหว่างแบบร่างการออกแบบและเส้นทางจริง

3. การประมวลผลรหัสสัญญาณเตือนของระบบ

รหัสแจ้งเตือน ความหมาย การประมวลผลฉุกเฉิน

อุณหภูมิหัวเลเซอร์ ALM 102 สูงเกินไป ตรวจสอบอัตราการไหลของเครื่องทำน้ำเย็น (ต้อง >2L/นาที)

ALM 303 ระบบล็อคนิรภัยทำงาน ยืนยันสถานะของเซ็นเซอร์ประตูป้องกัน

ALM 408 แรงดันระบบกำจัดฝุ่นไม่เพียงพอ เปลี่ยนตัวกรอง HEPA (ทุก ๆ 500 ชั่วโมง)

III. แผนการบำรุงรักษาเชิงป้องกัน

1.การบำรุงรักษาประจำวัน

ทำความสะอาดเศษซากที่เหลือในพื้นที่การประมวลผล (เพื่อป้องกันการดูดซับไฟฟ้าสถิตจากการปนเปื้อนหน้าต่างออปติคอล)

บันทึกข้อมูลกำลังเลเซอร์ (ความผันผวนควร <±3%)

2. การบำรุงรักษาประจำเดือน

เปลี่ยนน้ำหล่อเย็น (ค่าการนำไฟฟ้า <5μS/cm)

หล่อลื่นรางแกน X/Y (ใช้จารบีที่ระบุโดย DISCO)

3. การบำรุงรักษาเชิงลึกประจำปี

การตรวจสอบเส้นทางแสงเลเซอร์ UV แบบเต็มรูปแบบ (ต้องใช้เครื่องมือสอบเทียบดั้งเดิม)

การเปลี่ยนถ่ายน้ำมันปั๊มสุญญากาศและการตรวจสอบซีล

IV. กลยุทธ์เพิ่มประสิทธิภาพต้นทุนการบำรุงรักษา

1. แผนการลดต้นทุนโมดูลเลเซอร์

ส่วนประกอบ ต้นทุนทดแทนเดิม แผนทางเลือก อัตราการประหยัด

Nd:YVO₄ คริสตัล ¥180,000 คริสตัลที่สร้างใหม่โดยบุคคลที่สาม ¥80,000 55%

กลุ่มเลนส์โฟกัส ¥65,000 เลนส์ควอตซ์ฟิวส์ในประเทศ ¥15,000 77%

การ์ดควบคุมการเคลื่อนไหว ¥120,000 การบำรุงรักษาในระดับชิป ¥25,000 79%

2. ทักษะที่สำคัญ

การยืดอายุการใช้งานของคริสตัลเลเซอร์:

การลดอุณหภูมิในการทำงานจาก 25℃ เป็น 20℃ สามารถเพิ่มอายุการใช้งานได้ 40%

การรับรองสินค้าอุปโภคบริโภคภายในประเทศ :

ตัวกรอง HEPA หัวดูดฝุ่น ฯลฯ ผ่านการทดสอบความเข้ากันได้ของ DISCO

V. กรณีที่ประสบความสำเร็จ

โรงงานบรรจุภัณฑ์เซมิคอนดักเตอร์ (5 ORIGAMI XPs)

ปัญหา:

ต้นทุนการบำรุงรักษาประจำปีเกิน 1,200,000 เยน ส่วนใหญ่เกิดจากการเปลี่ยนคริสตัล UV บ่อยครั้ง

โซลูชั่นของเรา:

ติดตั้งโมดูลควบคุมอุณหภูมิแบบวงจรปิดคริสตัล

ใช้การซ่อมแซมด้วยการขัดด้วยเลเซอร์แทนการเปลี่ยนคริสตัล

ผลลัพธ์:

วงจรการเปลี่ยนคริสตัลขยายจาก 8 เดือนเป็น 3 ปี

ต้นทุนรวมประจำปีลดลงเหลือ 400,000 เยน

VI. การสนับสนุนด้านเทคนิค

สต๊อกอะไหล่ : โมดูลออปติก UV, บอร์ดควบคุมการเคลื่อนที่ ฯลฯ

การวินิจฉัยระยะไกล: วิเคราะห์บันทึกอุปกรณ์ผ่านแพลตฟอร์ม DISCO Connect

รับโซลูชันการบำรุงรักษาแบบกำหนดเอง

ติดต่อผู้เชี่ยวชาญด้านการบำรุงรักษาเลเซอร์ของเราได้ฟรี:

"คู่มืออ้างอิงด่วนรหัสสัญญาณเตือน ORIGAMI XP"

รายงานการประเมินสุขภาพอุปกรณ์ของคุณ

ปฏิบัติตามการบริการในพื้นที่ด้วยมาตรฐานกระบวนการของญี่ปุ่นเพื่อให้มั่นใจถึงการทำงานของอุปกรณ์ตัดแม่นยำที่มีประสิทธิภาพและเสถียร

—— ผู้ให้บริการบำรุงรักษาอุปกรณ์เลเซอร์ DISCO ในภูมิภาคเอเชียแปซิฟิก