เครื่องตัดเลเซอร์ ASM LS100-2 เป็นเครื่องตัดเลเซอร์แบบลูกเต๋าที่ออกแบบมาเป็นพิเศษสำหรับความต้องการการตัดที่มีความแม่นยำสูง โดยเฉพาะอย่างยิ่งเหมาะสำหรับการผลิตชิป LED แบบมินิ/ไมโคร อุปกรณ์นี้มีคุณสมบัติและข้อดีหลักดังต่อไปนี้:
การตัดที่มีความแม่นยำสูง: ความแม่นยำของความลึกในการตัดของ LS100-2 คือ σ≤1um ความแม่นยำของตำแหน่งการตัด XY คือ σ≤0.7um และความกว้างของเส้นทางการตัดคือ ≤14um พารามิเตอร์เหล่านี้ช่วยให้มั่นใจได้ว่าการตัดเศษมีความแม่นยำสูง
การผลิตที่มีประสิทธิภาพ: อุปกรณ์นี้สามารถตัดชิปได้ประมาณ 10 ล้านชิปต่อชั่วโมง ช่วยปรับปรุงประสิทธิภาพการผลิตได้อย่างมาก
เทคโนโลยีที่ได้รับสิทธิบัตร: LS100-2 นำเทคโนโลยีที่ได้รับสิทธิบัตรจำนวนหนึ่งมาใช้เพื่อปรับปรุงเสถียรภาพและความน่าเชื่อถือของการตัดให้ดียิ่งขึ้น
ขอบเขตการใช้งาน: เหมาะสำหรับเวเฟอร์ขนาด 4" และ 6" ความหนาของเวเฟอร์เปลี่ยนแปลงน้อยกว่า 15um ขนาดโต๊ะทำงานคือ 168 มม. 260 มม. และ 290° ซึ่งสามารถตอบสนองความต้องการการตัดที่มีขนาดและความหนาต่างกันได้
นอกจากนี้ เครื่องตัดเลเซอร์ LS100-2 ยังมีความสำคัญอย่างยิ่งในการผลิตชิป LED ขนาดเล็ก/ไมโคร เนื่องจากชิป LED ขนาดเล็ก/ไมโครต้องการความแม่นยำในการตัดที่สูงมาก จึงเป็นเรื่องยากที่อุปกรณ์ทั่วไปจะรับประกันผลผลิตและผลลัพธ์ได้ในเวลาเดียวกัน LS100-2 ช่วยแก้ปัญหานี้ด้วยความแม่นยำสูงและประสิทธิภาพสูง ตอบสนองความต้องการของอุตสาหกรรมทั้งผลผลิตและผลลัพธ์