ACCRETECH ஆய்வு நிலையம் UF3000EX

ACCRETECH Probe Station UF3000EX என்பது செமிகண்டக்டர் தயாரிப்புகளின் தரத்தை உறுதி செய்வதற்காக வடிவமைக்கப்பட்ட ஒவ்வொரு செதில்களிலும் உள்ள ஒவ்வொரு சிப்பிற்கும் ஒரு மின் சமிக்ஞை கண்டறிதல் சாதனமாகும். சாதனம் அடுத்த தலைமுறை தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்துகிறது, இது புதிய வழிமுறைகள் மற்றும் செதில் கையாளுதல் தொழில்நுட்பம் மூலம் உற்பத்தி திறனை கணிசமாக மேம்படுத்துகிறது. அதன் அதிவேக, குறைந்த இரைச்சல் X மற்றும் Y அச்சு இயங்குதளங்கள் புதிய இயக்கி அமைப்பிலிருந்து பயனடைகின்றன, அதே நேரத்தில் Z அச்சு உலகத் தரமான சுமை திறன் மற்றும் உயர் துல்லியத்தை உறுதி செய்கிறது. சாதனத்தின் வடிவமைப்பு அமைப்பு, உகந்த கட்டமைப்பு வடிவமைப்பு மற்றும் இடவியல் ஆகியவற்றின் நல்ல கலவையின் மூலம் விமானத்தில் உள்ள சக்தியை நம்பகத்தன்மையுடன் நீக்குகிறது. கூடுதலாக, மேம்பட்ட OTS நிலை செயலாக்க அமைப்பு மற்றும் வண்ண செதில் பட சீரமைப்பு அமைப்பு, அத்துடன் சிறிய அதிகபட்ச உருப்பெருக்கம் செயல்பாடு ஆகியவை UF3000EX ஐ தொழில்துறையில் உயர் துல்லியமான மற்றும் இயங்கக்கூடிய சாதனமாக மாற்றுகின்றன.

முக்கிய அம்சங்கள்

அதிக வேகம் மற்றும் குறைந்த இரைச்சல்: புதிய டிரைவ் சிஸ்டம் X மற்றும் Y அச்சு இயங்குதளங்களை திறமையாகவும் அமைதியாகவும் இயங்கச் செய்கிறது.

உயர் துல்லியம்: Z அச்சு உலகத் தரம் வாய்ந்த சுமை திறன் மற்றும் உயர் துல்லியத்தை உறுதி செய்கிறது.

கட்டமைப்பு தேர்வுமுறை: உகந்த கட்டமைப்பு வடிவமைப்பு மற்றும் இடவியல் ஆகியவற்றின் நல்ல கலவையின் மூலம் விமானத்தில் உள்ள விசை அகற்றப்படுகிறது.

மேம்பட்ட நிலைப்படுத்தல் அமைப்பு: மேம்பட்ட OTS நிலை செயலாக்க அமைப்பு மற்றும் வண்ண செதில் பட சீரமைப்பு அமைப்பு, சிறிய அதிகபட்ச உருப்பெருக்கம் செயல்பாடு.

இணக்கத்தன்மை: பெரிய விட்டம் கொண்ட செதில்களுக்கு (φ300 மிமீ, 12 அங்குலங்கள் வரை), தானியங்கி இயக்க முறைமை, உயர் துல்லியமான கண்டறிதல், அதிக செயல்திறன், குறைந்த அதிர்வு போன்றவை.

பயன்பாட்டு புலம்

UF3000EX ஆய்வு நிலையம் செமிகண்டக்டர் உற்பத்தி செயல்பாட்டில் செதில் சோதனையில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது, குறிப்பாக LSI மற்றும் VLSI உற்பத்தி வரிகளில், இது தயாரிப்பு தரம் மற்றும் உற்பத்தி செயல்திறனை உறுதி செய்ய திறமையான மற்றும் துல்லியமான மின் சமிக்ஞை கண்டறிதலை வழங்க முடியும்.