ACCRETECH Sondstation UF3000EX

ACCRETECH Probe Station UF3000EX är en elektrisk signaldetekteringsenhet för varje chip på varje wafer, designad för att säkerställa kvaliteten på halvledarprodukter. Enheten använder nästa generations teknologi, vilket avsevärt förbättrar produktionskapaciteten genom nya algoritmer och waferhanteringsteknik. Dess höghastighets- och lågbrusiga X- och Y-axelplattformar drar nytta av det nya drivsystemet, medan Z-axeln säkerställer lastkapacitet i världsklass och hög precision. Enhetens designstruktur eliminerar på ett tillförlitligt sätt kraften på planet genom den goda kombinationen av optimal strukturell design och topologi. Dessutom gör det avancerade OTS-positionsbearbetningssystemet och bildjusteringssystemet för färgwafer, liksom den lilla maximala förstoringsfunktionen utrustad, UF3000EX till en högprecisions- och funktionsduglig enhet i branschen.

Huvudfunktioner

Hög hastighet och lågt ljud: Det nya drivsystemet gör att X- och Y-axelplattformarna körs effektivt och tyst.

Hög precision: Z-axeln säkerställer lastkapacitet i världsklass och hög precision.

Strukturell optimering: Kraften på planet elimineras genom den goda kombinationen av optimal strukturell design och topologi.

Avancerat positioneringssystem: Utrustat med avancerat OTS positionsbearbetningssystem och färgwafer bildjusteringssystem, med liten maximal förstoringsfunktion.

Kompatibilitet: Lämplig för wafers med stor diameter (φ300 mm, upp till 12 tum), med automatiskt operativsystem, högprecisionsdetektering, hög genomströmning, låg vibration, etc. .

Ansökningsfält

UF3000EX sondstation används i stor utsträckning vid testning av skivor i halvledartillverkningsprocessen, särskilt i produktionslinjerna för LSI och VLSI, som kan ge effektiv och exakt elektrisk signaldetektering för att säkerställa produktkvalitet och produktionseffektivitet