АЦЦРЕТЕЦХ Пробе Статион УФ3000ЕКС је уређај за детекцију електричног сигнала за сваки чип на свакој плочици, дизајниран да обезбеди квалитет полупроводничких производа. Уређај користи технологију следеће генерације, која значајно побољшава производни капацитет кроз нове алгоритме и технологију руковања плочицама. Његове платформе Кс и И осе велике брзине и ниске буке имају користи од новог погонског система, док З оса обезбеђује носивост светске класе и високу прецизност. Дизајнерска структура уређаја поуздано елиминише силу на раван кроз добру комбинацију оптималног структуралног дизајна и топологије. Поред тога, напредни систем за обраду положаја ОТС и систем за поравнавање слике у боји, као и опремљена функција малог максималног увећања, чине УФ3000ЕКС високо прецизним и функционалним уређајем у индустрији.
Главне карактеристике
Велика брзина и ниска бука: Нови погонски систем чини да платформе Кс и И осе раде ефикасно и тихо.
Висока прецизност: З оса обезбеђује носивост светске класе и високу прецизност.
Оптимизација структуре: сила на равни је елиминисана кроз добру комбинацију оптималног структуралног дизајна и топологије.
Напредни систем позиционирања: Опремљен напредним системом за обраду положаја ОТС-а и системом за поравнавање слике плочице у боји, са функцијом малог максималног увећања.
Компатибилност: Погодно за плочице великог пречника (φ300 мм, до 12 инча), са аутоматским оперативним системом, високом прецизношћу, великом пропусношћу, ниским вибрацијама, итд.
Поље апликације
УФ3000ЕКС сондна станица се широко користи у тестирању вафера у процесу производње полупроводника, посебно у производним линијама ЛСИ и ВЛСИ, које могу обезбедити ефикасну и тачну детекцију електричног сигнала како би се осигурао квалитет производа и ефикасност производње