Estación de sonda ACCRETECH UF3000EX

La estación de sonda UF3000EX de ACCRETECH es un dispositivo de detección de señales eléctricas para cada chip en cada oblea, diseñado para garantizar la calidad de los productos semiconductores. El dispositivo utiliza tecnología de última generación, que mejora significativamente la capacidad de producción a través de nuevos algoritmos y tecnología de manipulación de obleas. Sus plataformas de eje X e Y de alta velocidad y bajo ruido se benefician del nuevo sistema de accionamiento, mientras que el eje Z garantiza una capacidad de carga de primera clase y una alta precisión. La estructura de diseño del dispositivo elimina de manera confiable la fuerza en el plano a través de la buena combinación de diseño estructural y topología óptimos. Además, el avanzado sistema de procesamiento de posición OTS y el sistema de alineación de imágenes de obleas en color, así como la pequeña función de aumento máximo equipada, hacen del UF3000EX un dispositivo de alta precisión y operable en la industria.

Características principales

Alta velocidad y bajo nivel de ruido: el nuevo sistema de accionamiento hace que las plataformas de los ejes X e Y funcionen de manera eficiente y silenciosa.

Alta precisión: el eje Z garantiza una capacidad de carga de clase mundial y una alta precisión.

Optimización estructural: La fuerza en el plano se elimina mediante la buena combinación de diseño estructural y topología óptimos.

Sistema de posicionamiento avanzado: Equipado con un avanzado sistema de procesamiento de posición OTS y un sistema de alineación de imágenes de obleas en color, con una pequeña función de aumento máximo.

Compatibilidad: Adecuado para obleas de gran diámetro (φ300 mm, hasta 12 pulgadas), con sistema operativo automático, detección de alta precisión, alto rendimiento, baja vibración, etc.

Campo de aplicación

La estación de sonda UF3000EX se usa ampliamente en pruebas de obleas en el proceso de fabricación de semiconductores, especialmente en las líneas de producción de LSI y VLSI, que pueden proporcionar una detección de señal eléctrica eficiente y precisa para garantizar la calidad del producto y la eficiencia de la producción.