ACCRETECH Probe Station UF3000EX je zariadenie na detekciu elektrického signálu pre každý čip na každej doštičke, navrhnuté tak, aby zabezpečilo kvalitu polovodičových produktov. Zariadenie využíva technológiu novej generácie, ktorá výrazne zlepšuje výrobnú kapacitu prostredníctvom nových algoritmov a technológie manipulácie s plátkami. Jeho vysokorýchlostné a nízkohlučné platformy osí X a Y ťažia z nového systému pohonu, zatiaľ čo os Z zaisťuje nosnosť a vysokú presnosť na svetovej úrovni. Konštrukčná štruktúra zariadenia spoľahlivo eliminuje silu pôsobiacu na rovinu vďaka dobrej kombinácii optimálneho konštrukčného návrhu a topológie. Okrem toho pokročilý systém spracovania polohy OTS a systém zarovnania obrazu farebného plátku, ako aj funkcia malého maximálneho zväčšenia, vďaka čomu je UF3000EX vysoko presné a použiteľné zariadenie v tomto odvetví.
Hlavné vlastnosti
Vysoká rýchlosť a nízka hlučnosť: Vďaka novému systému pohonu fungujú platformy osí X a Y efektívne a ticho.
Vysoká presnosť: Os Z zaisťuje nosnosť a vysokú presnosť na svetovej úrovni.
Optimalizácia konštrukcie: Sila pôsobiaca na rovinu je eliminovaná dobrou kombináciou optimálneho konštrukčného návrhu a topológie.
Pokročilý polohovací systém: Vybavený pokročilým systémom spracovania polohy OTS a systémom zarovnania obrazu farebného plátku s funkciou malého maximálneho zväčšenia.
Kompatibilita: Vhodné pre doštičky s veľkým priemerom (φ300 mm, až 12 palcov), s automatickým operačným systémom, vysoko presnou detekciou, vysokou priepustnosťou, nízkymi vibráciami atď.
Oblasť aplikácie
Sonda UF3000EX je široko používaná pri testovaní doštičiek v procese výroby polovodičov, najmä vo výrobných linkách LSI a VLSI, ktoré môžu poskytnúť efektívnu a presnú detekciu elektrického signálu na zabezpečenie kvality produktu a efektívnosti výroby.