ACCRETECH Probe Station UF3000EX — это устройство обнаружения электрического сигнала для каждого чипа на каждой пластине, разработанное для обеспечения качества полупроводниковых изделий. Устройство использует технологию следующего поколения, которая значительно повышает производительность за счет новых алгоритмов и технологии обработки пластин. Его высокоскоростные малошумящие платформы осей X и Y выигрывают от новой системы привода, в то время как ось Z обеспечивает грузоподъемность мирового класса и высокую точность. Конструкция устройства надежно устраняет силу на плоскости за счет хорошего сочетания оптимальной структурной конструкции и топологии. Кроме того, усовершенствованная система обработки положения OTS и система выравнивания цветного изображения пластины, а также функция небольшого максимального увеличения делают UF3000EX высокоточным и работоспособным устройством в отрасли.
Основные характеристики
Высокая скорость и низкий уровень шума: новая система привода обеспечивает эффективную и бесшумную работу платформ осей X и Y.
Высокая точность: ось Z обеспечивает грузоподъемность и высокую точность мирового класса.
Оптимизация конструкции: сила, действующая на плоскость, устраняется за счет удачного сочетания оптимальной конструкции конструкции и топологии.
Усовершенствованная система позиционирования: оснащена усовершенствованной системой обработки положения OTS и системой выравнивания изображения цветной пластины с функцией увеличения с малым максимальным увеличением.
Совместимость: Подходит для пластин большого диаметра (φ300 мм, до 12 дюймов), с автоматической операционной системой, высокоточным обнаружением, высокой производительностью, низкой вибрацией и т. д.
Область применения
Зондовая станция UF3000EX широко используется для тестирования пластин в процессе производства полупроводников, особенно на производственных линиях БИС и СБИС, она может обеспечить эффективное и точное обнаружение электрического сигнала для обеспечения качества продукции и эффективности производства.