AMS-i в формовочной машине BESI — это автоматизированная сборочно-испытательная система, производимая BESI. BESI — компания по производству оборудования для полупроводников и микроэлектроники со штаб-квартирой в Нидерландах. Она была основана в 1995 году и специализируется на поставках передового оборудования для сборки полупроводников для мировой полупроводниковой и электронной промышленности. Ее продукция включает в себя сепараторы пластин, автоматизированные сборочно-испытательные системы и т. д., а также имеет офисы и торговые сети во многих странах и регионах по всему миру.
Основные характеристики и области применения AMS-i
AMS-i — это платформа точного позиционирования с прямым приводом от BESI со следующими основными характеристиками:
Сверхтонкая конструкция: подходит для различных применений в компактном пространстве.
Высокоточный оптический энкодер: обеспечивает высокоточную обратную связь по положению.
Возможность объединения в стек: можно гибко объединять в платформы XY или XYT, подходящие для различных сценариев применения.
Высокая скорость отклика: подходит для задач управления высокоскоростным движением.
Высокая точность: точность повторного позиционирования может достигать ±0,3 мкм, а разрешение может быть выбрано как 0,2 мкм, 0,05 мкм и т. д. 2.
Области применения AMS-i
AMS-i подходит для субмикронного позиционирования, оптической выравнивающей платформы, управления силой и других областей. Благодаря своей высокой точности и высоким характеристикам отклика он особенно подходит для промышленных приложений, требующих высокоточного позиционирования и управления, таких как производство полупроводников, прецизионная обработка и т. д.