ACCRETECH Probe Station UF3000EX este un dispozitiv de detectare a semnalului electric pentru fiecare cip de pe fiecare wafer, conceput pentru a asigura calitatea produselor semiconductoare. Dispozitivul folosește tehnologie de ultimă generație, care îmbunătățește semnificativ capacitatea de producție prin noi algoritmi și tehnologie de manipulare a plachetelor. Platformele sale de mare viteză și zgomot redus pe axele X și Y beneficiază de noul sistem de antrenare, în timp ce axa Z asigură o capacitate de încărcare de clasă mondială și o precizie ridicată. Structura de proiectare a dispozitivului elimină în mod fiabil forța pe plan prin combinația bună de design structural optim și topologie. În plus, sistemul avansat de procesare a poziției OTS și sistemul de aliniere a imaginii color wafer, precum și funcția de mărire maximă mică echipată, fac din UF3000EX un dispozitiv de înaltă precizie și operabil în industrie.
Caracteristici principale
Viteză mare și zgomot redus: noul sistem de acționare face ca platformele axelor X și Y să ruleze eficient și silențios.
Precizie ridicată: Axa Z asigură o capacitate de încărcare de clasă mondială și o precizie ridicată.
Optimizare structurală: Forța pe plan este eliminată prin combinația bună de proiectare structurală optimă și topologie.
Sistem avansat de poziționare: Echipat cu sistem avansat de procesare a poziției OTS și sistem de aliniere a imaginii color wafer, cu funcție de mărire maximă mică.
Compatibilitate: Potrivit pentru napolitane cu diametru mare (φ300 mm, până la 12 inci), cu sistem de operare automat, detecție de înaltă precizie, debit mare, vibrații scăzute etc.
Câmpul de aplicare
Stația de sondă UF3000EX este utilizată pe scară largă în testarea plachetelor în procesul de fabricație a semiconductorilor, în special în liniile de producție LSI și VLSI, care pot oferi o detectare eficientă și precisă a semnalului electric pentru a asigura calitatea produsului și eficiența producției.