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A Estação de Sonda ACCRETECH UF3000EX é um dispositivo de detecção de sinal elétrico para cada chip em cada wafer, projetado para garantir a qualidade dos produtos semicondutores. O dispositivo usa tecnologia de última geração, que melhora significativamente a capacidade de produção por meio de novos algoritmos e tecnologia de manuseio de wafer. Suas plataformas de eixo X e Y de alta velocidade e baixo ruído se beneficiam do novo sistema de acionamento, enquanto o eixo Z garante capacidade de carga de classe mundial e alta precisão. A estrutura de design do dispositivo elimina de forma confiável a força no plano por meio da boa combinação de design estrutural e topologia ideais. Além disso, o avançado sistema de processamento de posição OTS e o sistema de alinhamento de imagem de wafer colorido, bem como a pequena função de ampliação máxima equipada, tornam o UF3000EX um dispositivo de alta precisão e operável na indústria.
Principais Características
Alta velocidade e baixo ruído: O novo sistema de acionamento faz com que as plataformas dos eixos X e Y funcionem de forma eficiente e silenciosa.
Alta precisão: O eixo Z garante capacidade de carga de classe mundial e alta precisão.
Otimização estrutural: A força no plano é eliminada através da boa combinação de projeto estrutural e topologia ideais.
Sistema de posicionamento avançado: equipado com sistema avançado de processamento de posição OTS e sistema de alinhamento de imagem de wafer colorido, com pequena função de ampliação máxima.
Compatibilidade: Adequado para wafers de grande diâmetro (φ300 mm, até 12 polegadas), com sistema operacional automático, detecção de alta precisão, alto rendimento, baixa vibração, etc.
Campo de aplicação
A estação de sonda UF3000EX é amplamente utilizada em testes de wafer no processo de fabricação de semicondutores, especialmente nas linhas de produção de LSI e VLSI, que podem fornecer detecção de sinal elétrico eficiente e precisa para garantir a qualidade do produto e a eficiência da produção
