دستگاه برش لیزری ASM LS100-2 یک دستگاه برش لیزری است که به ویژه برای نیازهای برش با دقت بالا طراحی شده است، به ویژه برای ساخت تراشه های مینی / میکرو LED طراحی شده است. این دستگاه دارای ویژگی ها و مزایای اصلی زیر است:
برش با دقت بالا: دقت عمق برش LS100-2 σ≤1um، دقت موقعیت برش XY σ≤0.7um و عرض مسیر برش ≤14um است. این پارامترها دقت بالای برش تراشه را تضمین می کند.
تولید کارآمد: این تجهیزات می تواند تقریباً 10 میلیون تراشه در ساعت برش دهد که به طور قابل توجهی کارایی تولید را بهبود می بخشد.
فناوری ثبت اختراع: LS100-2 تعدادی از فناوری های ثبت شده را برای بهبود بیشتر پایداری و قابلیت اطمینان برش به کار می گیرد.
دامنه کاربرد: مناسب برای ویفرهای 4 و 6 اینچی، ضخامت ویفر کمتر از 15 میلی متر تغییر می کند، اندازه میز کار 168 میلی متر، 260 میلی متر و 290 درجه است که می تواند نیازهای برش را در اندازه ها و ضخامت های مختلف برآورده کند.
علاوه بر این، دستگاه تاس لیزری LS100-2 در تولید تراشه های مینی/میکرو ال ای دی اهمیت زیادی دارد. از آنجایی که تراشه های Mini/Micro LED به دقت برش بسیار بالایی نیاز دارند، برای تجهیزات معمولی دشوار است که عملکرد و خروجی را همزمان تضمین کنند. LS100-2 این مشکل را از طریق دقت بالا و راندمان بالا حل می کند و تقاضای صنعت را برای بازده و خروجی برآورده می کند.