ACCRETECH Probe Station UF3000EX

ACCRETECH Probe Station UF3000EX یک دستگاه تشخیص سیگنال الکتریکی برای هر تراشه روی هر ویفر است که برای اطمینان از کیفیت محصولات نیمه هادی طراحی شده است. این دستگاه از فناوری نسل بعدی استفاده می کند که به طور قابل توجهی ظرفیت تولید را از طریق الگوریتم های جدید و فناوری جابجایی ویفر بهبود می بخشد. پلت‌فرم‌های محور X و Y پرسرعت و کم‌صدا از سیستم درایو جدید بهره می‌برند، در حالی که محور Z ظرفیت بار در کلاس جهانی و دقت بالا را تضمین می‌کند. ساختار طراحی دستگاه از طریق ترکیب خوب طراحی ساختاری و توپولوژی بهینه، نیروی وارد بر هواپیما را به طور قابل اعتماد حذف می کند. علاوه بر این، سیستم پیشرفته پردازش موقعیت OTS و سیستم تراز تصویر ویفر رنگی، و همچنین عملکرد کوچک حداکثر بزرگنمایی مجهز، UF3000EX را به دستگاهی با دقت بالا و قابل اجرا در صنعت تبدیل کرده است.

ویژگی های اصلی

سرعت بالا و نویز کم: سیستم درایو جدید باعث می شود پلت فرم های محور X و Y به طور موثر و بی صدا کار کنند.

دقت بالا: محور Z ظرفیت بار در کلاس جهانی و دقت بالا را تضمین می کند.

بهینه سازی سازه: نیروی وارد بر صفحه از طریق ترکیب خوب طراحی سازه بهینه و توپولوژی حذف می شود.

سیستم موقعیت یابی پیشرفته: مجهز به سیستم پردازش موقعیت پیشرفته OTS و سیستم تراز تصویر ویفر رنگی، با عملکرد بزرگنمایی حداکثر کوچک.

سازگاری: مناسب برای ویفرهای با قطر بزرگ (φ300 میلی متر، تا 12 اینچ)، با سیستم عامل خودکار، تشخیص با دقت بالا، توان عملیاتی بالا، لرزش کم و غیره.

فیلد برنامه

ایستگاه پروب UF3000EX به طور گسترده در آزمایش ویفر در فرآیند تولید نیمه هادی استفاده می شود، به ویژه در خطوط تولید LSI و VLSI، که می تواند تشخیص سیگنال الکتریکی کارآمد و دقیق را برای اطمینان از کیفیت محصول و راندمان تولید ارائه دهد.