DISCO (Japan DISCO) ORIGAMI XP series sirna muraa laayizerii UV sirrii ta’ee fi meeshaalee cabbii kanneen akka paakeejii semiikondaaktarii, boordii sarkiyuutii FPC socho’aa, weefer LED fi kkf adeemsisuuf addatti qophaa’eedha.Faayidaan isaa ijoo kanneen akka:
Dheerinni dalgee: 355nm (altiraavaayoleetii), adeemsa qorraa
Sirrummaa bakka kaa’uu: ±1μm (Iddoo mul’ataa CCD wajjin) .
Saffisa muraa: hanga 500mm/s (furdina meeshaa irratti hundaa'uun)
Dafqa sammuudhaan balleessuu: sirna adsorbiishinii N2 fi elektiroo-istaatikii walitti makame
II. Qorannoo badii waliigalaa fi furmaata isaa
1. Humna laayizerii hir’isuu/tasgabbii dhabuu
Sababoota ta’uu danda’an: 1.1.
Dulloomuu kiristaala leeyzari altiraavaayoleetii (Nd:YVO4) (umriin gara sa’aatii 8,000-10,000) .
Faalama fuula kiristaala firikuweensii dachaa (LBO) .
Ofseeti qindaa’ina optikaalaa (kan raafama irraa kan ka’e) .
Tarkaanfiiwwan suphaa: 1.1.
Ispeektaraa adda baasuu: 1.1.
Safartuu humnaa fayyadamuun oomisha 355nm safaruu, attenuation>15% optical path calibration barbaada
Suphaa kiristaala: 1.1.
Kiristaala LBO etaanoolii bishaan hin qabne + suufii dafqa irraa bilisa ta’een qulqulleessi (fuula uffannaa hin tuqinaa) .
Safartuu daandii optikaalaa: .
Kofa calaqqisiisaa sirreessuuf meeshaa addaa DISCO fayyadami (jecha icciitii hayyamaa barbaachisa) .
2. Driiftii bakka muraa (sirrummaa hin baramne) .
Bakkeewwan sakatta’iinsaa ijoo:
Xiyyeeffannoo kaameraa CCD:
Leensii qulqulleessuun safartuu "Auto-Focus" irra deebi'aa raawwadhaa
Baabura qajeelfama waltajjii sochii:
Duub-deebii enkoodara mootoraa sararaawaa ilaali (erR 205 alarm is common) .
Meeshaa vaakiyuumii dhaabbataa adsorption: .
Digiriin vaakiyuumii >80kPa ta’uu qaba (xoofoo xuuxuu seraamikii qola qabu qulqulluu) .
Mala mirkaneessa ariifataa:
Paattara giiridii istaandaardii muraa fi jijjiirama fakkii dizaayinii fi daandii qabatamaa gidduu jiru walbira qabi
3. Adeemsa koodii alarmii sirnaa
Alarm code Hiikni Adeemsa hatattamaa
ALM 102 Teempireecharri mataa laayizerii garmalee olka’aa dha Dhangala’aa qabbanaa’aa bishaanii ilaali (>2L/min ta’uu qaba) .
ALM 303 Safety interlock triggered Haala sensara balbala ittisaa mirkaneessi
ALM 408 Dhiibbaan sirna dafqa balleessuu gahaa miti Filtara HEPA bakka buusi (sa’aatii 500 hunda) .
III. Karoora suphaa ittisaa
1. Suphaa guyyaa guyyaa
Caccabaa haftee naannoo adeemsifamaa jiru qulqulleessuu (adsorbshiniin elektiroo-istaatikii foddaa optikaalaa akka hin faalamneef) .
Daataa humna laayizerii galmeessuu (jijjiirama <±3%) ta’uu qaba .
2. Suphaa ji’a ji’aan
Bishaan qabbanaa’aa bakka buusi (dabarsummaa <5μS/cm) .
Baabura siiqqee X/Y dibadhu (giriisii DISCOn ibsame fayyadami) .
3. Suphaa gadi fageenyaa waggaa waggaadhaan
Inspeekshinii guutuu daandii optikaalaa laayizerii UV (meeshaalee safartuu jalqabaa barbaachisa) .
Bakka buusuu zayita paampii vaakiyuumii fi sakatta’iinsa chaappaa
IV. Tooftaa baasii suphaa fooyyessuu
1. Karoora baasii hir’isuu moojuulii laayizerii
Qaama Baasii bakka bu’iinsa jalqabaa Karoora filannoo Reeshiyoo qusannaa
Nd:YVO4 kiristaala ¥180,000 Kiristaala qaama sadaffaa haaromfame ¥80,000 55%
Garee leensii xiyyeeffannoo ¥65,000 Leensii koowartii fiyuuzii biyya keessaa ¥15,000 77% .
Kaardii to'annoo sochii ¥120,000 Suphaa sadarkaa chippii ¥25,000 79%
2. Dandeettiiwwan ijoo
Umurii kiristallii laayizerii dheeressuu:
Ho'a hojii 25°C irraa gara 20°C gadi buusuun umurii %40 dabaluu danda'a .
Mirkaneessa meeshaalee fayyadama biyya keessaa: 1.1.
Filtaroonni HEPA, vacuum chucks fi kkf qormaata walsimsiisaa DISCO darbaniiru
V. Dhimmoota milkaa’an
Warshaan paakeejii semiikondaaktarii (5 ORIGAMI XPs) .
Rakkoo:
Baasii suphaa waggaa ¥1,200,000 ol kan ta’u yoo ta’u, kunis sababa irra caalaa kiristaalota UV yeroo baay’ee bakka buufamuu irraa kan ka’edha
Furmaanni keenya:
Moojuulii to’annoo ho’a kiristaala cufame-looppii dhaabuu
Bakka bu’iinsa kiristaala suphaa laayizerii polishing fayyadami
Bu'aawwan:
Marsaan bakka bu’iinsa kiristaala ji’a 8 irraa gara waggaa 3tti dheerateera
Baasii waliigalaa waggaa gara ¥400,000tti gadi bu'e
VI. Deeggarsa teeknikaa
Inventarii meeshaalee dabalataa: Moojuulota optikaalaa UV, boordii to’annoo sochii fi kkf.
Fageenya irraa adda baasuu: Galmee meeshaalee karaa waltajjii DISCO Connect xiinxaluu
Furmaata suphaa haala barbaadamuun qophaa'e argadhu
Ogeessota suphaa laayizerii keenya bilisaan qunnamaa:
"ORIGAMI XP Koodii Dammaqsaa Qajeelfama Wabii Saffisaa".
Gabaasa madaallii fayyaa meeshaalee keessanii
Meeshaalee muraa sirritti hojjetan gahumsaa fi tasgabbaa’aa ta’e mirkaneessuuf tajaajila naannoo istaandaardii adeemsa Jaappaan waliin shaakaluu
—— Tajaajila suphaa meeshaalee laayizerii DISCO kan Eeshiyaa Paasifik