Tiswija tal-lejżer UV ta 'preċiżjoni għolja DISCO

DISCO (Ġappun DISCO) serje ORIGAMI XP hija sistema ta 'qtugħ bil-lejżer UV ta' preċiżjoni għolja ddisinjata speċifikament għall-ipproċessar ta 'materjali fraġli bħal ippakkjar tas-semikondutturi, bords ta' ċirkwiti flessibbli FPC, wejfers LED, eċċ. Il-vantaġġi ewlenin tagħha jinkludu:

Wavelength: 355nm (ultravjola), proċessar kiesaħ

Preċiżjoni tal-pożizzjonament: ± 1μm (b'ippożizzjonar viżwali CCD)

Veloċità tat-tqattigħ: sa 500mm/s (skond il-ħxuna tal-materjal)

Tneħħija intelliġenti tat-trab: sistema integrata ta 'nfiħ N2 u adsorbiment elettrostatiku

II. Dijanjosi u soluzzjonijiet ta 'ħsara komuni

1. Tnaqqis/instabbiltà tal-qawwa tal-lejżer

Kawżi possibbli:

Tixjiħ tal-kristall tal-laser ultravjola (Nd:YVO₄) (ħajja ta 'madwar 8,000-10,000 siegħa)

Kontaminazzjoni tal-wiċċ tal-kristall li jirduppja l-frekwenza (LBO)

Offset tal-allinjament ottiku (ikkawżat mill-vibrazzjoni)

Passi ta' manutenzjoni:

Sejbien spettrali:

Uża arloġġ tal-qawwa biex tkejjel l-output ta '355nm, attenwazzjoni> 15% teħtieġ kalibrazzjoni tal-passaġġ ottiku

Manutenzjoni tal-kristall:

Naddaf kristall LBO b'etanol anidru + swab tal-qoton mingħajr trab (tmissx il-wiċċ tal-kisi)

Kalibrazzjoni tal-passaġġ ottiku:

Uża tagħmir speċjali DISCO biex taġġusta l-angolu tar-riflettur (password ta’ awtorizzazzjoni meħtieġa)

2. Drift tal-pożizzjoni tat-tqattigħ (eżattezza anormali)

Punti ta' kontroll ewlenin:

Fokus tal-kamera CCD:

Naddaf il-lenti u erġa' wettaq il-kalibrazzjoni "Auto-Focus".

Binarju tal-gwida tal-pjattaforma tal-moviment:

Iċċekkja l-feedback tal-kodifikatur tal-mutur lineari (l-allarm ERR 205 huwa komuni)

Materjal adsorbiment vakwu fiss:

Il-grad tal-vakwu jeħtieġ li jkun> 80kPa (tazza tal-ġbid taċ-ċeramika poruża nadifa)

Metodu ta 'verifika malajr:

Aqta 'l-mudell tal-grilja standard u qabbel id-devjazzjoni bejn it-tpinġija tad-disinn u l-mogħdija attwali

3. Ipproċessar tal-kodiċi tal-allarm tas-sistema

Kodiċi ta' allarm Tifsira Ipproċessar ta' emerġenza

ALM 102 It-temperatura tar-ras tal-lejżer hija għolja wisq Iċċekkja l-fluss tal-apparat li jkessaħ l-ilma (jeħtieġ li jkun> 2L/min)

ALM 303 Interlock tas-sigurtà attivat Ikkonferma l-istatus tas-sensor tal-bieb protettiv

ALM 408 Il-pressjoni tas-sistema tat-tneħħija tat-trab mhix biżżejjed Ibdel il-filtru HEPA (kull 500 siegħa)

III. Pjan ta' manutenzjoni preventiva

1. Manutenzjoni ta 'kuljum

Naddaf id-debris residwu fiż-żona tal-ipproċessar (biex tevita l-assorbiment elettrostatiku milli jikkontamina t-tieqa ottika)

Irreġistra d-dejta tal-qawwa tal-lejżer (il-fluttuwazzjoni għandha tkun <±3%)

2. Manutenzjoni ta 'kull xahar

Ibdel l-ilma li jkessaħ (konduttività <5μS/cm)

Illubrikha l-binarji tal-assi X/Y (uża grass speċifikat DISCO)

3. Manutenzjoni fil-fond annwali

Spezzjoni sħiħa tal-mogħdija ottika tal-lejżer UV (tagħmir ta 'kalibrazzjoni oriġinali meħtieġ)

Sostituzzjoni taż-żejt tal-pompa tal-vakwu u spezzjoni tas-siġill

IV. Strateġija għall-ottimizzazzjoni tal-ispiża tal-manutenzjoni

1. Pjan ta 'tnaqqis tal-ispiża tal-modulu tal-lejżer

Komponent Spejjeż ta' sostituzzjoni oriġinali Pjan alternattiv Proporzjon ta' tfaddil

Nd:YVO₄ kristall ¥180,000 Kristall riġenerat minn parti terza ¥80,000 55%

Grupp tal-lenti li jiffoka ¥65,000 Lenti tal-kwarz imdewweb domestiku ¥15,000 77%

Karta tal-kontroll tal-moviment ¥120,000 Manutenzjoni fil-livell taċ-ċippa ¥25,000 79%

2. Ħiliet ewlenin

Estensjoni tal-ħajja tal-kristalli tal-laser:

It-tnaqqis tat-temperatura operattiva minn 25 ℃ għal 20 ℃ jista 'jżid il-ħajja b'40%

Ċertifikazzjoni ta' konsumabbli domestiċi:

Filtri HEPA, vacuum chucks, eċċ għaddew mit-test tal-kompatibilità DISCO

V. Każijiet ta' suċċess

Impjant tal-ippakkjar tas-semikondutturi (5 ORIGAMI XPs)

Problema:

L-ispejjeż tal-manutenzjoni annwali jaqbżu l-¥1,200,000, prinċipalment minħabba sostituzzjoni frekwenti tal-kristalli UV

Is-soluzzjoni tagħna:

Installa modulu ta 'kontroll b'ċirku magħluq tat-temperatura tal-kristall

Uża t-tiswija tal-illustrar bil-lejżer minflok is-sostituzzjoni tal-kristall

Riżultati:

Iċ-ċiklu ta 'sostituzzjoni tal-kristall estiż minn 8 xhur sa 3 snin

Spiża komprensiva annwali mnaqqsa għal ¥400,000

VI. Appoġġ tekniku

Inventarju ta 'spare parts: moduli ottiċi UV, bordijiet ta' kontroll tal-moviment, eċċ.

Dijanjosi mill-bogħod: Analizza r-zkuk tat-tagħmir permezz tal-pjattaforma DISCO Connect

Ikseb soluzzjonijiet ta 'manutenzjoni personalizzati

Ikkuntattja lill-esperti tal-manutenzjoni tal-laser tagħna b'xejn:

"Manwal ta' Referenza Rapida tal-Kodiċi ta' Allarm ORIGAMI XP"

Ir-rapport tal-valutazzjoni tas-saħħa tat-tagħmir tiegħek

Ipprattika servizzi lokalizzati bi standards ta 'proċess Ġappuniżi biex tiżgura tħaddim effiċjenti u stabbli ta' tagħmir ta 'qtugħ ta' preċiżjoni

—— Fornitur tas-servizz tal-manutenzjoni tat-tagħmir tal-laser DISCO fl-Asja-Paċifiku