ACCRETECH Probe Station UF3000EX

ACCRETECH Probe Station UF3000EX huwa apparat ta 'skoperta ta' sinjal elettriku għal kull ċippa fuq kull wejfer, iddisinjat biex jiżgura l-kwalità tal-prodotti semikondutturi. L-apparat juża teknoloġija tal-ġenerazzjoni li jmiss, li ttejjeb b'mod sinifikanti l-kapaċità tal-produzzjoni permezz ta 'algoritmi ġodda u teknoloġija tal-immaniġġjar tal-wejfers. Il-pjattaformi ta 'l-assi X u Y ta' veloċità għolja u ta 'ħoss baxx tagħha jibbenefikaw mis-sistema tas-sewqan il-ġdida, filwaqt li l-assi Z jiżgura kapaċità ta' tagħbija ta 'klassi dinjija u preċiżjoni għolja. L-istruttura tad-disinn tal-apparat telimina b'mod affidabbli l-forza fuq il-pjan permezz tal-kombinazzjoni tajba ta 'disinn strutturali u topoloġija ottimali. Barra minn hekk, is-sistema avvanzata tal-ipproċessar tal-pożizzjoni OTS u s-sistema tal-allinjament tal-immaġni tal-wejfer tal-kulur, kif ukoll il-funzjoni ta 'ingrandiment massimu żgħir mgħammra, jagħmlu UF3000EX apparat ta' preċiżjoni għolja u operabbli fl-industrija.

Karatteristiċi Ewlenin

Veloċità għolja u storbju baxx: Is-sistema tas-sewqan il-ġdida tagħmel il-pjattaformi tal-assi X u Y jaħdmu b'mod effiċjenti u kwiet.

Preċiżjoni għolja: L-assi Z jiżgura kapaċità ta 'tagħbija ta' klassi dinjija u preċiżjoni għolja.

Ottimizzazzjoni strutturali: Il-forza fuq il-pjan hija eliminata permezz tal-kombinazzjoni tajba ta 'disinn strutturali u topoloġija ottimali.

Sistema ta 'pożizzjonament avvanzata: Mgħammar b'sistema avvanzata ta' pproċessar ta 'pożizzjoni OTS u sistema ta' allinjament tal-immaġni tal-wejfer tal-kulur, b'funzjoni ta 'ingrandiment ta' ingrandiment massimu żgħir.

Kompatibbiltà: Adattat għal wejfers ta 'dijametru kbir (φ300 mm, sa 12-il pulzier), b'sistema operattiva awtomatika, skoperta ta' preċiżjoni għolja, throughput għoli, vibrazzjoni baxxa, eċċ.

Qasam ta' applikazzjoni

L-istazzjon tas-sonda UF3000EX jintuża ħafna fl-ittestjar tal-wejfer fil-proċess tal-manifattura tas-semikondutturi, speċjalment fil-linji ta 'produzzjoni ta' LSI u VLSI, li jistgħu jipprovdu sejbien effiċjenti u preċiż tas-sinjali elettriċi biex jiżguraw il-kwalità tal-prodott u l-effiċjenza tal-produzzjoni