Parameter teknikal PARMI-SPI-HS60 adalah seperti berikut:
Jenama: Among
Model: HS60
Mod paparan: LCD Cina Penuh
Produk yang diukur: Tampal pateri
Spesifikasi: 120011082000mm
Julat: 420*350mm
Resolusi pengimbasan: 20μm
Resolusi sisi: 18μm
Resolusi ketinggian: 0.2μm
Ketinggian tampal pateri: 1000μm
Saiz tampal pateri: 20X20mm, 200X200μm
Jarak tampal pateri: 150μm
Prestasi pengesanan: Jenis pemeriksaan termasuk ketinggian, keluasan, kelantangan, ofset dan pengesanan jambatan
Kelajuan pengesanan: Cepat