ACCRETECH Ekifo ekinoonyereza UF3000EX

ACCRETECH Probe Station UF3000EX kye kyuma ekizuula obubonero bw’amasannyalaze ku buli chip ku buli wafer, ekikoleddwa okukakasa omutindo gw’ebintu ebikolebwa mu semikondokita. Ekyuma kino kikozesa tekinologiya ow’omulembe oguddako, alongoosa ennyo obusobozi bw’okufulumya ebintu nga kiyita mu nkola empya ne tekinologiya w’okukwata wafer. Platform zaayo eza X ne Y axis ezikola ku sipiidi ennene, ezitaliimu maloboozi matono ziganyulwa mu nkola empya ey’okuvuga, ate Z axis ekakasa obusobozi bw’okutikka ku mutindo gw’ensi yonna n’obutuufu obw’amaanyi. Ensengeka ya dizayini y’ekyuma emalawo mu ngeri eyesigika empalirizo ku nnyonyi okuyita mu kugatta okulungi okwa dizayini y’enzimba ennungi ne topology. Okugatta ku ekyo, enkola ey’omulembe ey’okukola ku kifo kya OTS n’enkola y’okukwataganya ebifaananyi bya langi wafer, wamu n’omulimu omutono ogw’okukuza okusingawo oguteekeddwamu, bifuula UF3000EX ekyuma ekituufu ennyo era ekikola mu mulimu guno.

Ebikulu Ebirimu

Sipiidi ya waggulu n’amaloboozi amatono: Enkola empya ey’okuvuga efuula pulatifomu za X ne Y axis okutambula obulungi era mu kasirise.

Obutuufu obw’amaanyi: Ekisiki kya Z kikakasa obusobozi bw’okutikka ku mutindo gw’ensi yonna n’obutuufu obw’amaanyi.

Okulongoosa enzimba: Empalirizo ku nnyonyi eggyibwawo okuyita mu kugatta okulungi okwa dizayini y’enzimba ennungi ne topology.

Enkola ey’omulembe ey’okuteeka ekifo: Erimu enkola ey’omulembe ey’okukola ku kifo kya OTS n’enkola y’okulaga ebifaananyi bya wafer eya langi, ng’erina omulimu omutono ogw’okukuza okukuza okusingawo.

Okukwatagana: Esaanira wafers za dayamita ennene (φ300 mm, okutuuka ku yinsi 12), nga zirina enkola y’emirimu mu ngeri ey’otoma, okuzuula obulungi ennyo, okuyita waggulu, okukankana okutono, n’ebirala .

Ennimiro y’okusaba

UF3000EX probe station ekozesebwa nnyo mu kugezesa wafer mu nkola y’okukola semiconductor naddala mu layini z’okufulumya LSI ne VLSI, eziyinza okuwa okuzuula obubonero bw’amasannyalaze obulungi era obutuufu okukakasa omutindo gw’ebintu n’okufulumya obulungi