Fico Ekyuma ekibumba AMS-i

AMS-i mu kyuma ekibumba ekya BESI nkola ya otomatiki ey’okukuŋŋaanya n’okugezesa ekolebwa BESI. BESI kkampuni ekola ebyuma bya semiconductor ne microelectronics ng’ekitebe kyayo ekikulu kiri mu Budaaki. Yatandikibwawo mu 1995 era essira erisinga kulissa ku kuwa ebyuma eby’omulembe ebikuŋŋaanya semikondokita eri amakolero ga semikondokita n’ebyuma mu nsi yonna. Ebintu byayo mulimu ebyuma ebyawula wafer, enkola y’okukuŋŋaanya n’okugezesa mu ngeri ey’otoma n’ebirala, era erina ofiisi n’emikutu gy’okutunda mu mawanga n’ebitundu bingi okwetoloola ensi yonna.

Ebintu ebikulu n’ebitundu by’okukozesa ebya AMS-i

AMS-i ye nkola ya direct-drive precision positioning platform okuva mu BESI ng’erina ebintu ebikulu bino wammanga:

Ultra-thin design: Esaanira okukozesebwa mu bwengula obw’enjawulo.

Enkoda y’amaaso ey’obutuufu obw’amaanyi: Ewa endowooza y’ekifo ey’obutuufu obw’amaanyi.

Kiyinza okutumbibwa: Kiyinza okugattibwa mu ngeri ekyukakyuka mu nkola za XY oba XYT, ezisaanira embeera ez’enjawulo ez’okukozesa.

Okuddamu okw’amaanyi: Esaanira ebyetaago by’okufuga entambula ey’amaanyi.

Obutuufu obw’amaanyi: Obutuufu bw’okuddiŋŋana okuteeka mu kifo busobola okutuuka ku ±0.3μm, era okusalawo kuyinza okulondebwa nga 0.2μm, 0.05μm, n’ebirala 2.

Ebitundu by’okukozesa AMS-i

AMS-i esaanira okuteeka mu kifo kya sub-micron, optical alignment platform, okufuga amaanyi n’ennimiro endala. Olw’engeri yaayo ey’obutuufu obw’amaanyi n’okuddamu okw’amaanyi, esaanira nnyo okukozesebwa mu makolero ezeetaaga okuteeka mu kifo n’okufuga mu butuufu obw’amaanyi, gamba ng’okukola semikondokita, okukola ebyuma ebituufu, n’ebirala.