ACCRETECH Probe Station UF3000EX ass en elektrescht Signalerkennungsapparat fir all Chip op all Wafer, entwéckelt fir d'Qualitéit vun de Hallefleitprodukter ze garantéieren. Den Apparat benotzt d'nächst Generatioun Technologie, déi d'Produktiounskapazitéit wesentlech verbessert duerch nei Algorithmen a Wafer Handling Technologie. Seng High-Speed-, Low-Noise X- an Y-Achsplattforme profitéiere vum neie Drive System, während d'Z-Achs Weltklass-Laaschtkapazitéit an héich Präzisioun garantéiert. D'Designstruktur vum Apparat eliminéiert zouverlässeg d'Kraaft op de Fliger duerch déi gutt Kombinatioun vun optimalen strukturellen Design an Topologie. Zousätzlech, de fortgeschratt OTS Positioun Veraarbechtung System a Faarf wafer Bild Ausriichtung System, wéi och déi kleng maximal Vergréisserung Funktioun equipéiert, maachen UF3000EX eng héich-Präzisioun an operabel Apparat an der Industrie.
Main Fonctiounen
Héich Geschwindegkeet a geréng Geräischer: Den neien Drive System mécht d'X- an Y-Achsplattformen effizient a roueg lafen.
Héich Präzisioun: D'Z Achs suergt fir Weltklass Belaaschtungskapazitéit an héich Präzisioun.
Strukturell Optimisatioun: D'Kraaft op de Fliger gëtt duerch déi gutt Kombinatioun vun optimalen strukturellen Design an Topologie eliminéiert.
Fortgeschratt Positionéierungssystem: Equipéiert mat fortgeschrattem OTS Positiounsveraarbechtungssystem a Faarfwafer Bildausrichtungssystem, mat enger klenger maximaler Vergréisserungsfunktioun.
Kompatibilitéit: Gëeegent fir grouss Duerchmiesser wafers (φ300 mm, bis zu 12 Zoll), mat automateschen Betribssystem, héich-Präzisioun Detektioun, héich Débit, niddereg Schwéngung, etc.
Applikatioun Feld
UF3000EX Sondestatioun ass wäit an der Wafer Testen am Hallefleitproduktiounsprozess benotzt, besonnesch an de Produktiounslinne vu LSI a VLSI, déi effizient a korrekt elektresch Signalerkennung ubidden fir d'Produktqualitéit an d'Produktiounseffizienz ze garantéieren