ACCRETECH zondų stotis UF3000EX

ACCRETECH Probe Station UF3000EX yra elektrinis signalo aptikimo įtaisas kiekvienam lustui ant kiekvienos plokštelės, skirtas puslaidininkinių gaminių kokybei užtikrinti. Įrenginyje naudojama naujos kartos technologija, kuri ženkliai pagerina gamybos pajėgumus dėl naujų algoritmų ir plokštelių tvarkymo technologijos. Jo didelės spartos, mažai triukšmingos X ir Y ašių platformos naudojasi nauja pavaros sistema, o Z ašis užtikrina pasaulinio lygio apkrovą ir didelį tikslumą. Įrenginio konstrukcinė struktūra patikimai pašalina jėgą plokštumoje dėl gero optimalaus konstrukcijos dizaino ir topologijos derinio. Be to, pažangi OTS padėties apdorojimo sistema ir spalvotų plokštelių vaizdo išlygiavimo sistema, taip pat įrengta mažo didžiausio padidinimo funkcija, UF3000EX paverčia didelio tikslumo ir veikiančiu įrenginiu pramonėje.

Pagrindinės savybės

Didelis greitis ir mažas triukšmas: dėl naujos pavaros sistemos X ir Y ašių platformos veikia efektyviai ir tyliai.

Didelis tikslumas: Z ašis užtikrina pasaulinio lygio apkrovą ir didelį tikslumą.

Struktūrinis optimizavimas: plokštumoje veikianti jėga pašalinama gerai derinant optimalų konstrukcijos dizainą ir topologiją.

Pažangi padėties nustatymo sistema: aprūpinta pažangia OTS padėties apdorojimo sistema ir spalvotų plokštelių vaizdo išlygiavimo sistema, su mažo didžiausio padidinimo padidinimo funkcija.

Suderinamumas: tinka didelio skersmens plokštelėms (φ300 mm, iki 12 colių), su automatine operacine sistema, didelio tikslumo aptikimu, dideliu pralaidumu, maža vibracija ir kt.

Taikymo laukas

UF3000EX zondo stotis yra plačiai naudojama bandant plokšteles puslaidininkių gamybos procese, ypač LSI ir VLSI gamybos linijose, kurios gali užtikrinti efektyvų ir tikslų elektrinio signalo aptikimą, siekiant užtikrinti produkto kokybę ir gamybos efektyvumą.