DISCO augstas precizitātes UV lāzera remonts

DISCO (Japāna DISCO) ORIGAMI XP sērija ir augstas precizitātes UV lāzergriešanas sistēma, kas īpaši izstrādāta trauslu materiālu, piemēram, pusvadītāju iepakojuma, FPC elastīgo shēmu plates, LED plāksnīšu uc apstrādei. Tās galvenās priekšrocības ir:

Viļņa garums: 355nm (ultravioletais), aukstā apstrāde

Pozicionēšanas precizitāte: ±1 μm (ar CCD vizuālo pozicionēšanu)

Griešanas ātrums: līdz 500mm/s (atkarībā no materiāla biezuma)

Inteliģenta putekļu noņemšana: integrēta N2 pūšanas un elektrostatiskās adsorbcijas sistēma

II. Bieža kļūdu diagnostika un risinājumi

1. Lāzera jaudas samazināšana/nestabilitāte

Iespējamie cēloņi:

Ultravioletā lāzera kristāla (Nd:YVO₄) novecošana (apmēram 8000–10 000 stundu kalpošanas laiks)

Frekvences dubultošanās kristāla (LBO) virsmas piesārņojums

Optiskā izlīdzinājuma nobīde (vibrācijas izraisīta)

Apkopes soļi:

Spektrālā noteikšana:

Izmantojiet jaudas mērītāju, lai izmērītu 355 nm izvadi; ja vājināšanās > 15% ir nepieciešama optiskā ceļa kalibrēšana

Kristālu apkope:

Notīriet LBO kristālu ar bezūdens etanolu + vates tamponu bez putekļiem (nepieskarieties pārklājuma virsmai)

Optiskā ceļa kalibrēšana:

Izmantojiet DISCO īpašo armatūru, lai pielāgotu atstarotāja leņķi (nepieciešama autorizācijas parole)

2. Griešanas pozīcijas novirze (nenormāla precizitāte)

Galvenie kontrolpunkti:

CCD kameras fokuss:

Notīriet objektīvu un atkārtoti veiciet "Auto-Focus" kalibrēšanu

Kustības platformas vadošā sliede:

Pārbaudiet lineārā motora kodētāja atgriezenisko saiti (ERR 205 trauksme ir izplatīta)

Materiāla fiksētā vakuuma adsorbcija:

Vakuuma pakāpei jābūt > 80 kPa (tīra poraina keramikas piesūceknis)

Ātrās verifikācijas metode:

Izgrieziet standarta režģa modeli un salīdziniet novirzi starp projekta rasējumu un faktisko ceļu

3. Sistēmas trauksmes koda apstrāde

Trauksmes kods Nozīme Ārkārtas apstrāde

ALM 102 Lāzera galviņas temperatūra ir pārāk augsta Pārbaudiet ūdens dzesētāja plūsmu (jābūt >2L/min)

ALM 303 Iedarbināts drošības bloķētājs Apstipriniet durvju aizsargsensora statusu

ALM 408 Putekļu noņemšanas sistēmas spiediens ir nepietiekams Nomainiet HEPA filtru (ik pēc 500 stundām)

III. Profilaktiskās apkopes plāns

1. Ikdienas apkope

Notīriet atlikušos gružus apstrādes zonā (lai novērstu elektrostatiskās adsorbcijas piesārņojumu optiskajā logā)

Ierakstiet lāzera jaudas datus (svārstībām jābūt <±3%)

2. Ikmēneša apkope

Nomainiet dzesēšanas ūdeni (vadītspēja <5μS/cm)

Ieeļļojiet X/Y ass sliedes (izmantojiet DISCO noteikto smērvielu)

3. Ikgadējā padziļinātā apkope

Pilnīga UV lāzera optiskā ceļa pārbaude (nepieciešama oriģinālā kalibrēšanas iekārta)

Vakuumsūkņa eļļas maiņa un blīvējuma pārbaude

IV. Uzturēšanas izmaksu optimizācijas stratēģija

1. Lāzera moduļa izmaksu samazināšanas plāns

Komponents Oriģinālās nomaiņas izmaksas Alternatīvais plāns Ietaupījumu koeficients

Nd: YVO₄ kristāls ¥ 180 000 Trešās puses reģenerēts kristāls ¥ 80 000 55%

Fokusēšanas objektīvu grupa ¥65 000 Sadzīves kausēta kvarca lēca ¥ 15 000 77%

Kustības kontroles karte ¥120 000 Mikroshēmas līmeņa uzturēšana ¥ 25 000 79%

2. Galvenās prasmes

Lāzera kristālu kalpošanas laika pagarināšana:

Darba temperatūras pazemināšana no 25 ℃ līdz 20 ℃ var palielināt kalpošanas laiku par 40%

Sadzīves patēriņa preču sertifikācija:

HEPA filtri, vakuuma patronas utt. ir izturējuši DISCO saderības pārbaudi

V. Veiksmīgi gadījumi

Pusvadītāju iepakošanas rūpnīca (5 ORIGAMI XP)

Problēma:

Ikgadējās uzturēšanas izmaksas pārsniedz 1 200 000 ¥, galvenokārt tāpēc, ka bieži tiek nomainīti UV kristāli

Mūsu risinājums:

Uzstādiet kristāla temperatūras slēgtā cikla vadības moduli

Izmantojiet lāzera pulēšanas remontu, nevis kristālu nomaiņu

Rezultāti:

Kristālu nomaiņas cikls pagarināts no 8 mēnešiem līdz 3 gadiem

Ikgadējās visaptverošās izmaksas samazinātas līdz 400 000 ¥

VI. Tehniskais atbalsts

Rezerves daļu inventārs: UV optiskie moduļi, kustību vadības paneļi utt.

Attālā diagnostika: analizējiet aprīkojuma žurnālus, izmantojot DISCO Connect platformu

Iegūstiet pielāgotus apkopes risinājumus

Sazinieties ar mūsu lāzera apkopes speciālistiem bez maksas:

"ORIGAMI XP trauksmes koda ātrā uzziņu rokasgrāmata"

Jūsu aprīkojuma veselības novērtējuma ziņojums

Praktizējiet lokalizētus pakalpojumus saskaņā ar Japānas procesu standartiem, lai nodrošinātu efektīvu un stabilu precīzās griešanas iekārtu darbību

—— DISCO lāzeriekārtu apkopes pakalpojumu sniedzējs Āzijas un Klusā okeāna reģionā