ACCRETECH Probe Station UF3000EX ir elektriskā signāla noteikšanas ierīce katrai mikroshēmai katrā plāksnē, kas paredzēta pusvadītāju izstrādājumu kvalitātes nodrošināšanai. Ierīce izmanto nākamās paaudzes tehnoloģiju, kas ievērojami uzlabo ražošanas jaudu, izmantojot jaunus algoritmus un vafeļu apstrādes tehnoloģiju. Tā ātrgaitas, zema trokšņa līmeņa X un Y asu platformas gūst labumu no jaunās piedziņas sistēmas, savukārt Z ass nodrošina pasaules klases kravnesību un augstu precizitāti. Ierīces konstrukcijas struktūra droši novērš spēku uz plakni, izmantojot labu optimālas konstrukcijas un topoloģijas kombināciju. Turklāt uzlabotā OTS pozīciju apstrādes sistēma un krāsu vafeļu attēlu izlīdzināšanas sistēma, kā arī mazā maksimālā palielinājuma funkcija padara UF3000EX par augstas precizitātes un darbināmu ierīci nozarē.
Galvenās iezīmes
Liels ātrums un zems trokšņa līmenis: jaunā piedziņas sistēma ļauj X un Y asu platformām darboties efektīvi un klusi.
Augsta precizitāte: Z ass nodrošina pasaules klases kravnesību un augstu precizitāti.
Strukturālā optimizācija: Spēks uz plakni tiek novērsts, izmantojot labu optimālas konstrukcijas un topoloģijas kombināciju.
Uzlabota pozicionēšanas sistēma: aprīkota ar uzlabotu OTS pozīcijas apstrādes sistēmu un krāsu vafeļu attēlu izlīdzināšanas sistēmu, ar mazu maksimālā palielinājuma palielinājuma funkciju.
Saderība: piemērota liela diametra plāksnēm (φ300 mm, līdz 12 collām), ar automātisku operētājsistēmu, augstas precizitātes noteikšanu, augstu caurlaidspēju, zemu vibrāciju utt.
Pieteikuma lauks
UF3000EX zondes stacija tiek plaši izmantota vafeļu testēšanā pusvadītāju ražošanas procesā, īpaši LSI un VLSI ražošanas līnijās, kas var nodrošināt efektīvu un precīzu elektrisko signālu noteikšanu, lai nodrošinātu produkta kvalitāti un ražošanas efektivitāti.