DISCO ການສ້ອມແປງເລເຊີ UV ຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ

DISCO (Japan DISCO) ຊຸດ ORIGAMI XP ເປັນລະບົບຕັດ laser UV ຄວາມແມ່ນຍໍາສູງທີ່ອອກແບບມາໂດຍສະເພາະສໍາລັບການປຸງແຕ່ງວັດສະດຸ brittle ເຊັ່ນການຫຸ້ມຫໍ່ semiconductor, FPC ແຜ່ນວົງຈອນທີ່ມີຄວາມຍືດຫຍຸ່ນ, wafers LED, ແລະອື່ນໆຂໍ້ໄດ້ປຽບຫຼັກຂອງມັນປະກອບມີ:

ຄວາມຍາວຄື້ນ: 355nm (ultraviolet), ການປຸງແຕ່ງເຢັນ

ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການຈັດຕໍາແຫນ່ງ: ± 1μm (ມີ CCD ຕໍາແຫນ່ງສາຍຕາ)

ຄວາມໄວຕັດ: ເຖິງ 500mm / s (ຂຶ້ນກັບຄວາມຫນາຂອງວັດສະດຸ)

ການກຳຈັດຂີ້ຝຸ່ນອັດສະລິຍະ: ປະສົມປະສານ N2 blowing and electrostatic adsorption system

II. ການວິນິດໄສຄວາມຜິດທົ່ວໄປແລະວິທີແກ້ໄຂ

1. ການຫຼຸດຜ່ອນພະລັງງານເລເຊີ / ບໍ່ສະຖຽນລະພາບ

ສາເຫດທີ່ເປັນໄປໄດ້:

ການແກ່ອາຍຸຂອງແສງເລເຊີ ultraviolet (Nd:YVO₄) (ອາຍຸການປະມານ 8,000-10,000 ຊົ່ວໂມງ)

ການປົນເປື້ອນພື້ນຜິວຂອງໄປເຊຍກັນຄວາມຖີ່ສອງເທົ່າ (LBO)

ການຊົດເຊີຍການຈັດຮຽງ optical (ເກີດຈາກການສັ່ນສະເທືອນ)

ຂັ້ນ​ຕອນ​ການ​ບໍາ​ລຸງ​ຮັກ​ສາ​:

ການ​ກວດ​ສອບ Spectral​:

ໃຊ້ເຄື່ອງວັດແທກພະລັງງານເພື່ອວັດແທກຜົນຜະລິດ 355nm, ການຫຼຸດຫນ້ອຍລົງ> 15% ຕ້ອງການການປັບເສັ້ນທາງ optical

ການ​ບໍາ​ລຸງ​ຮັກ​ສາ​ໄປ​ເຊຍ​ກັນ​:

ເຮັດຄວາມສະອາດແກ້ວ LBO ດ້ວຍ ethanol ທີ່ບໍ່ມີນ້ໍາ + ຜ້າຝ້າຍທີ່ບໍ່ມີຝຸ່ນ (ຢ່າແຕະພື້ນຜິວ)

ການ​ປັບ​ທຽບ​ເສັ້ນ​ທາງ Optical​:

ໃຊ້ອຸປະກອນພິເສດ DISCO ເພື່ອປັບມຸມສະທ້ອນແສງ (ຕ້ອງໃຊ້ລະຫັດຜ່ານການອະນຸຍາດ)

2. ການຕັດຕໍາແຫນ່ງ drift (ຄວາມຖືກຕ້ອງຜິດປົກກະຕິ)

ດ່ານຫຼັກ:

ໂຟກັສກ້ອງ CCD:

ເຮັດຄວາມສະອາດເລນແລະປະຕິບັດການປັບ "ໂຟກັສອັດຕະໂນມັດ" ຄືນໃໝ່

ລົດໄຟຄູ່ມືເວທີການເຄື່ອນໄຫວ:

ກວດ​ສອບ​ຄໍາ​ຄຶດ​ຄໍາ​ເຫັນ​ຂອງ​ຕົວ​ເຂົ້າ​ລະ​ຫັດ​ມໍ​ເຕີ​ເສັ້ນ​ຊື່ (ERR 205 ປຸກ​ແມ່ນ​ທົ່ວ​ໄປ​)

ການດູດຊຶມສູນຍາກາດຄົງທີ່:

ລະດັບສູນຍາກາດຕ້ອງ> 80kPa (ຈອກດູດເຊລາມິກທີ່ມີຮູຂຸມຂົນສະອາດ)

ວິທີການກວດສອບດ່ວນ:

ຕັດຮູບແບບຕາຂ່າຍໄຟຟ້າມາດຕະຖານແລະປຽບທຽບການບ່ຽງເບນລະຫວ່າງຮູບແຕ້ມການອອກແບບແລະເສັ້ນທາງຕົວຈິງ

3. ການປະມວນຜົນລະຫັດປຸກລະບົບ

ລະຫັດປຸກ ຄວາມໝາຍການປະມວນຜົນສຸກເສີນ

ALM 102 ອຸນຫະພູມຫົວເລເຊີສູງເກີນໄປ ກວດເບິ່ງການໄຫຼຂອງເຄື່ອງເຮັດຄວາມເຢັນຂອງນໍ້າ (ຕ້ອງການ > 2 ລິດ/ນາທີ)

ALM 303 ຄວາມປອດໄພ interlock ກະຕຸ້ນໃຫ້ຢືນຢັນສະຖານະຂອງເຊັນເຊີປະຕູປ້ອງກັນ

ALM 408 ຄວາມດັນລະບົບກຳຈັດຂີ້ຝຸ່ນບໍ່ພຽງພໍ ທົດແທນການກັ່ນຕອງ HEPA (ທຸກໆ 500 ຊົ່ວໂມງ)

III. ແຜນ​ການ​ບໍາ​ລຸງ​ຮັກ​ສາ​ປ້ອງ​ກັນ​

1. ບໍາລຸງຮັກສາປະຈໍາວັນ

ເຮັດຄວາມສະອາດສິ່ງເສດເຫຼືອທີ່ຕົກຄ້າງຢູ່ໃນພື້ນທີ່ປຸງແຕ່ງ (ເພື່ອປ້ອງກັນການດູດຊຶມໄຟຟ້າສະຖິດຈາກການປົນເປື້ອນປ່ອງຢ້ຽມ optical)

ບັນທຶກຂໍ້ມູນພະລັງງານເລເຊີ (ການເໜັງຕີງຄວນຈະເປັນ <±3%)

2. ບໍາລຸງຮັກສາປະຈໍາເດືອນ

ທົດແທນນ້ຳເຢັນ (ຄ່າໄຟຟ້າ <5μS/cm)

ຫຼໍ່ລື່ນທາງຢາງແກນ X/Y (ໃຊ້ນໍ້າມັນທີ່ລະບຸໄວ້ DISCO)

3. ການຮັກສາຄວາມເລິກປະຈໍາປີ

ການ​ກວດ​ກາ​ຢ່າງ​ເຕັມ​ທີ່​ຂອງ​ເສັ້ນ​ທາງ optical laser UV (ຕ້ອງ​ການ​ອຸ​ປະ​ກອນ​ການ​ສອບ​ທຽບ​ຕົ້ນ​ສະ​ບັບ​)

ການທົດແທນນໍ້າມັນເຄື່ອງດູດຝຸ່ນແລະການກວດສອບປະທັບຕາ

IV. ຍຸດທະສາດການເພີ່ມປະສິດທິພາບຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການຮັກສາ

1. ແຜນການຫຼຸດຜ່ອນຄ່າໃຊ້ຈ່າຍຂອງໂມດູນເລເຊີ

ສ່ວນປະກອບຂອງຕົ້ນທຶນທົດແທນແຜນທາງເລືອກ ອັດຕາສ່ວນເງິນຝາກປະຢັດ

Nd:YVO₄ crystal ¥180,000 ຄຣິສຕ໌ທີ່ສ້າງຂຶ້ນຈາກພາກສ່ວນທີສາມ ¥80,000 55%

ກຸ່ມເລນໂຟກັສ ¥65,000 ເລນ quartz fused ພາຍໃນປະເທດ ¥15,000 77%

ບັດຄວບຄຸມການເຄື່ອນໄຫວ ¥120,000 ການບຳລຸງຮັກສາລະດັບຊິບ ¥25,000 79%

2. ທັກສະຫຼັກ

ຂະຫຍາຍຊີວິດຂອງໄປເຊຍກັນເລເຊີ:

ການ​ຫຼຸດ​ລົງ​ອຸນ​ຫະ​ພູມ​ປະ​ຕິ​ບັດ​ການ​ຈາກ 25 ℃​ເປັນ 20 ℃​ສາ​ມາດ​ເພີ່ມ​ຊີ​ວິດ​ໄດ້ 40​%

ການຢັ້ງຢືນເຄື່ອງບໍລິໂພກພາຍໃນ:

ຕົວກອງ HEPA, ເຄື່ອງດູດຝຸ່ນ ແລະ ອື່ນໆ ໄດ້ຜ່ານການທົດສອບຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ຂອງ DISCO

V. ກໍລະນີທີ່ປະສົບຜົນສໍາເລັດ

ໂຮງງານຫຸ້ມຫໍ່ semiconductor (5 ORIGAMI XPs)

ບັນຫາ:

ຄ່າ​ບໍາ​ລຸງ​ຮັກ​ສາ​ປະ​ຈໍາ​ປີ​ເກີນ 1,200,000 ¥, ສ່ວນ​ໃຫຍ່​ແມ່ນ​ເນື່ອງ​ມາ​ຈາກ​ການ​ທົດ​ແທນ​ເລື້ອຍໆ​ຂອງ​ໄປ​ເຊຍ​ກັນ UV

ການແກ້ໄຂຂອງພວກເຮົາ:

ຕິດຕັ້ງໂມດູນຄວບຄຸມອຸນຫະພູມຂອງວົງປິດ

ໃຊ້ການສ້ອມແປງ laser polishing ແທນທີ່ຈະປ່ຽນໄປເຊຍກັນ

ຜົນໄດ້ຮັບ:

ຮອບ​ວຽນ​ການ​ທົດ​ແທນ​ໄປ​ເຊຍ​ກັນ​ຂະ​ຫຍາຍ​ຈາກ 8 ເດືອນ​ເປັນ 3 ປີ​

ຄ່າໃຊ້ຈ່າຍລວມປະຈໍາປີຫຼຸດລົງເປັນ 400,000 ¥

VI. ສະຫນັບສະຫນູນດ້ານວິຊາການ

ສິນຄ້າຄົງຄັງອາໄຫຼ່: ໂມດູນແສງ UV, ກະດານຄວບຄຸມການເຄື່ອນໄຫວ, ແລະອື່ນໆ.

ການວິນິດໄສໄລຍະໄກ: ວິເຄາະບັນທຶກອຸປະກອນຜ່ານເວທີ DISCO Connect

ໄດ້ຮັບການແກ້ໄຂການບໍາລຸງຮັກສາທີ່ກໍາຫນົດເອງ

ຕິດ​ຕໍ່​ຜູ້​ຊ່ຽວ​ຊານ​ບໍາ​ລຸງ​ຮັກ​ສາ laser ຂອງ​ພວກ​ເຮົາ​ສໍາ​ລັບ​ການ​ຟຣີ​:

"ຄູ່ມືການອ້າງອິງດ່ວນລະຫັດເຕືອນ ORIGAMI XP"

ບົດລາຍງານການປະເມີນສຸຂະພາບອຸປະກອນຂອງທ່ານ

ປະຕິບັດການບໍລິການທ້ອງຖິ່ນທີ່ມີມາດຕະຖານຂະບວນການຂອງຍີ່ປຸ່ນເພື່ອຮັບປະກັນການດໍາເນີນງານທີ່ມີປະສິດທິພາບແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງອຸປະກອນການຕັດຄວາມແມ່ນຍໍາ

—— DISCO ຜູ້ໃຫ້ບໍລິການຮັກສາອຸປະກອນເລເຊີໃນອາຊີປາຊີຟິກ