ເຄື່ອງເຮັດຄວາມສະອາດອອນໄລນ໌ເຄື່ອງຫຸ້ມຫໍ່ຊິບ semiconductor ອັດຕະໂນມັດຢ່າງເຕັມສ່ວນແມ່ນອຸປະກອນທີ່ຖືກອອກແບບມາສໍາລັບອຸດສາຫະກໍາການຫຸ້ມຫໍ່ຊິບ. ມັນໃຊ້ເທກໂນໂລຍີທໍາຄວາມສະອາດ plasma ເພື່ອກໍາຈັດມົນລະພິດຢ່າງມີປະສິດທິພາບແລະຢ່າງລະອຽດໃນຂະບວນການຫຸ້ມຫໍ່ຊິບເພື່ອຮັບປະກັນຄຸນນະພາບແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືຂອງຊິບ.
ລັກສະນະດ້ານວິຊາການແລະພື້ນທີ່ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ
ເຄື່ອງທໍາຄວາມສະອາດອອນໄລນ໌ການຫຸ້ມຫໍ່ຊິບ semiconductor ອັດຕະໂນມັດຢ່າງເຕັມສ່ວນສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນໃຊ້ເຕັກໂນໂລຢີທໍາຄວາມສະອາດທາງດ້ານຮ່າງກາຍຂອງ plasma. ໃນລະຫວ່າງການທໍາຄວາມສະອາດ, plasma ພະລັງງານສູງສາມາດ decompose ແລະເອົາ impurities ປອດສານພິດແລະອະນົງຄະທາດຢູ່ດ້ານຂອງ chip ໄດ້, ແລະມີລັກສະນະທໍາຄວາມສະອາດປະສິດທິພາບ, ຄວາມປອດໄພແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖື, ອັດຕະໂນມັດສູງ, ການປະຫຍັດພະລັງງານແລະການປົກປັກຮັກສາສິ່ງແວດລ້ອມ. ອຸປະກອນນີ້ແມ່ນຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນອຸດສາຫະກໍາການຫຸ້ມຫໍ່ chip semiconductor, ລວມທັງການຫຸ້ມຫໍ່ວົງຈອນປະສົມປະສານ, ການປະກອບການຫຸ້ມຫໍ່ chip ແລະຂົງເຂດອື່ນໆ.
ຄວາມສົດໃສດ້ານຂອງຕະຫຼາດແລະແນວໂນ້ມການພັດທະນາເຕັກໂນໂລຢີ
ດ້ວຍການພັດທະນາຢ່າງໄວວາຂອງອຸດສາຫະກໍາ semiconductor, ຄວາມຕ້ອງການດ້ານຄຸນນະພາບຂອງ chip ແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືແມ່ນສູງຂຶ້ນແລະສູງຂຶ້ນ, ແລະຄວາມສໍາຄັນຂອງເຄື່ອງເຮັດຄວາມສະອາດໃນຂະບວນການຜະລິດຊິບແມ່ນກາຍເປັນທີ່ໂດດເດັ່ນ. ສະຖາບັນການຄົ້ນຄວ້າຕະຫຼາດຄາດຄະເນວ່າການຫຸ້ມຫໍ່ chip ຕະຫຼາດເຄື່ອງເຮັດຄວາມສະອາດ plasma ອອນໄລນ໌ຈະຮັກສາອັດຕາການເຕີບໂຕສູງແລະມີຄວາມສົດໃສດ້ານຕະຫຼາດຢ່າງກວ້າງຂວາງ. ໃນອະນາຄົດ, ອຸປະກອນຈະສະຫລາດແລະອັດຕະໂນມັດຫຼາຍຂຶ້ນ, ແລະປະສິດທິພາບການທໍາຄວາມສະອາດແລະຄຸນນະພາບການເຮັດຄວາມສະອາດຈະຖືກປັບປຸງຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງເພື່ອປັບຕົວເຂົ້າກັບການປ່ຽນແປງຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງໃນອຸດສາຫະກໍາ semiconductor.