Xiton Scientific 고체 레이저 수리

Xiton Laser IXION 193 SLM은 과학 연구 및 산업 분야에서 독특하고 중요한 응용 분야를 가진 단일 주파수 전고체 레이저 시스템입니다. 핵심 기술은 특정 파장과 높은 안정성을 갖춘 레이저 출력을 생성하는 데 중점을 두고 있으며, 레이저 매개변수에 대한 엄격한 요구 사항을 가진 다양한 시나리오에 대한 솔루션을 제공합니다.

(II) 특징

정밀한 파장 출력: 중심 파장은 185~194nm 범위에서 맞춤 설정할 수 있으며, 주문 확인 후 최대 0.01nm의 정확도로 고정 파장으로 설정할 수 있습니다. 일반적으로 사용되는 작동 파장은 193.368nm이며, 이 심자외선 파장은 다양한 응용 분야에서 대체 불가능한 역할을 합니다.

안정적인 펄스 특성: 출력 펄스 에너지는 1.6μJ, 펄스 지속 시간은 8ns~12ns, 반복 주파수 범위는 1kHz~15kHz입니다. 또한, 높은 펄스 간 안정성(σ<2.5%)은 반복 작업 중 레이저 출력의 일관성을 보장하며, 이는 정밀한 에너지 제어가 필요한 실험이나 가공 작업에 매우 중요합니다.

컴팩트한 구조 설계: 레이저 헤드는 795mm x 710mm x 154mm 크기에 74kg이며, 전원 공급 및 냉각 장치는 600mm x 600mm x 600mm 크기에 78kg입니다. 컴팩트한 디자인은 공간 차지를 최소화하면서도 고성능을 보장하며, 다양한 작업 환경에 쉽게 통합할 수 있습니다. 작동 전원은 AC 85V - 264V이며, 소비 전력은 650W로 CDRH 안전 기준을 충족합니다.

2. 일반적인 오류 정보

(I) 전력 관련 고장

주전원 고장 경보: 입력 주전원 전압이 ±10% 범위를 초과하거나 입력 위상 순서가 잘못되면 주전원 고장 경보가 발생합니다. 이때 주전원, 컴퓨터 및 고전압 전원 공급 장치가 꺼지고 레이저 시스템이 제대로 작동하지 않으며 디스플레이에 텍스트가 표시되지 않을 수 있습니다. 이는 계통 전압 변동, 전원 코드 연결 불량 또는 손상, 전원 모듈 내부 고장 등이 원인일 수 있습니다.

(II) 레이저 출력 이상 발생

출력 전력 감소: 레이저 이득 매질의 성능 저하, 펌프 소스 전력 감소, 그리고 광학 부품의 오염이나 손상으로 인한 레이저 투과 손실 증가 등이 원인일 수 있습니다. 예를 들어, 레이저 공동 내 광학 렌즈 표면에 먼지, 기름 및 기타 오염 물질이 있으면 레이저가 반사 및 투과 과정에서 산란하고 흡수되어 출력 전력이 감소합니다.

(III) 냉각 시스템 고장

냉각수 과열 경보: 냉각 시스템은 레이저 시스템 작동 중 발생하는 열을 제거하여 레이저 이득 매체 및 펌프 소스와 같은 주요 구성품이 적정 온도 범위 내에서 작동하도록 합니다. 냉각수 온도가 너무 높아 설정된 임계값(일반적으로 25~30°C, 구체적인 온도는 장비 요구 사항에 따라 다름)을 초과하면 경보가 울립니다. 이러한 상황의 원인은 냉각수 부족, 냉각수 펌프 고장, 쿨러의 열 방출 불량(예: 라디에이터에 먼지 축적, 팬 고장) 등일 수 있습니다.

III. 유지관리 방법

(I) 정기적인 유지관리

광학 시스템 유지보수: 광학 시스템을 정기적으로 종합적으로 점검하고 유지보수하십시오(예: 3~6개월, 구체적인 주기는 실제 사용 환경에 따라 다름). 빔 품질 분석기 및 분광기 등 전문 광학 시험 장비를 사용하여 빔 품질 및 스펙트럼 대역폭과 같은 매개변수를 시험하십시오. 광학 부품이 오염되었거나 손상된 경우, 적절한 시기에 세척하거나 교체해야 합니다.

(II) 고장수리 후 유지관리

종합 검사: 레이저 시스템을 수리한 후에는 즉시 정상 작동 상태로 돌리지 말고, 종합 검사를 실시하십시오. 모든 관련 부품의 작동 상태를 다시 점검하여 결함이 완전히 제거되었고 다른 새로운 문제가 발생하지 않았는지 확인하십시오. 예를 들어, 레이저 이득 매질을 교체한 후에는 레이저의 출력 전력, 펄스 에너지, 파장 및 기타 매개변수를 다시 측정하고 장비의 공칭 값과 비교하여 성능이 정상으로 회복되었는지 확인하십시오.

유지보수 파일 기록: 고장 현상, 수리 과정, 교체 부품, 수리 후 시험 결과를 상세히 기록하여 완전한 장비 유지보수 파일을 구축합니다. 이러한 파일은 장비의 유지보수 이력 및 성능 변화를 추적하는 데 도움이 될 뿐만 아니라, 후속 유지보수 및 개선을 위한 중요한 참고 자료를 제공합니다.