DISCO 고정밀 UV 레이저 수리

DISCO(일본 DISCO) ORIGAMI XP 시리즈는 반도체 패키징, FPC 플렉시블 회로 기판, LED 웨이퍼 등과 같은 취성 소재를 가공하기 위해 특별히 설계된 고정밀 UV 레이저 커팅 시스템입니다. 핵심 장점은 다음과 같습니다.

파장 : 355nm(자외선), 냉간가공

위치 정확도: ±1μm(CCD 시각적 위치 지정 포함)

절단 속도: 최대 500mm/s (소재 두께에 따라 다름)

지능형 먼지 제거: 통합 N2 분사 및 정전 흡착 시스템

II. 일반적인 오류 진단 및 솔루션

1. 레이저 출력 감소/불안정성

가능한 원인:

자외선 레이저 결정(Nd:YVO₄)의 노화(수명 약 8,000~10,000시간)

주파수 배가 결정(LBO)의 표면 오염

광학 정렬 오프셋(진동으로 인해 발생)

유지 보수 단계:

스펙트럼 감지:

전력계를 사용하여 355nm 출력을 측정합니다. 감쇠 >15%에는 광 경로 교정이 필요합니다.

크리스탈 유지 관리:

무수에탄올 + 먼지 없는 면봉으로 LBO 크리스털을 깨끗이 닦습니다.(코팅 표면을 만지지 마십시오)

광학 경로 교정:

DISCO 특수 고정장치를 사용하여 반사경 각도를 조정합니다(인증 비밀번호 필요)

2. 절단 위치 드리프트(정확도 이상)

주요 체크포인트:

CCD 카메라 초점:

렌즈를 청소하고 "자동 초점" 보정을 다시 수행하십시오.

모션 플랫폼 가이드 레일:

선형 모터 인코더 피드백을 확인하세요(ERR 205 알람이 일반적입니다)

재료 고정 진공 흡착:

진공도는 >80kPa이어야 합니다(깨끗한 다공성 세라믹 흡입컵)

빠른 확인 방법:

표준 그리드 패턴을 잘라내어 설계 도면과 실제 경로의 편차를 비교합니다.

3. 시스템 알람 코드 처리

알람코드 의미 비상처리

ALM 102 레이저 헤드 온도가 너무 높습니다. 워터쿨러의 흐름을 확인하세요(2L/min 이상이어야 함)

ALM 303 안전 인터록 작동 보호 도어 센서 상태 확인

ALM 408 먼지 제거 시스템 압력이 부족합니다 HEPA 필터를 교체하세요(500시간마다)

III. 예방 유지 관리 계획

1. 일상 관리

가공 영역의 잔여 파편을 청소합니다(정전기 흡착으로 인해 광학 창이 오염되는 것을 방지하기 위함)

레이저 출력 데이터 기록(변동은 <±3%이어야 함)

2. 월별 유지관리

냉각수 교체 (전도도 <5μS/cm)

X/Y 축 레일 윤활(Disco 지정 그리스 사용)

3. 연간 심층 유지 관리

UV 레이저 광 경로의 전체 검사(원래 교정 장비 필요)

진공펌프 오일 교체 및 씰 검사

IV. 유지관리 비용 최적화 전략

1. 레이저 모듈 비용 절감 계획

구성 요소 원래 교체 비용 대체 계획 절감 비율

Nd:YVO₄ 결정 ¥180,000 제3자 재생 결정 ¥80,000 55%

포커싱 렌즈군 ¥65,000 국산 용융 석영 렌즈 ¥15,000 77%

모션 컨트롤 카드 ¥120,000 칩 레벨 유지 관리 ¥25,000 79%

2. 핵심 기술

레이저 크리스털의 수명 연장:

작동 온도를 25℃에서 20℃로 낮추면 수명이 40% 증가할 수 있습니다.

국내소모품 인증 :

HEPA 필터, 진공척 등은 DISCO 적합성 테스트 통과

V. 성공 사례

반도체 패키징 공장(ORIGAMI XP 5개)

문제:

연간 유지관리 비용이 120만엔을 넘는데, 이는 주로 UV크리스털의 잦은 교체로 인한 것입니다.

우리의 솔루션:

크리스탈 온도 폐쇄 루프 제어 모듈 설치

크리스탈 교체 대신 레이저 연마 수리를 사용하세요

결과:

크리스탈 교체 주기 8개월에서 3년으로 연장

연간 종합비용 40만엔으로 절감

VI. 기술 지원

예비 부품 재고: UV 광학 모듈, 모션 제어 보드 등

원격 진단: DISCO Connect 플랫폼을 통해 장비 로그 분석

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장비 건강 평가 보고서

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—— 아시아 태평양 지역의 DISCO 레이저 장비 유지 보수 서비스 제공업체