ACCRETECH 프로브 스테이션 UF3000EX

ACCRETECH 프로브 스테이션 UF3000EX는 각 웨이퍼의 각 칩에 대한 전기 신호 감지 장치로, 반도체 제품의 품질을 보장하도록 설계되었습니다. 이 장치는 차세대 기술을 사용하여 새로운 알고리즘과 웨이퍼 처리 기술을 통해 생산 용량을 크게 개선합니다. 고속, 저소음 X 및 Y 축 플랫폼은 새로운 구동 시스템의 이점을 누리고 Z 축은 세계적 수준의 하중 용량과 고정밀성을 보장합니다. 이 장치의 설계 구조는 최적의 구조 설계와 토폴로지의 좋은 조합을 통해 평면의 힘을 안정적으로 제거합니다. 또한 고급 OTS 위치 처리 시스템과 컬러 웨이퍼 이미지 정렬 시스템, 소형 최대 배율 기능이 장착되어 UF3000EX는 업계에서 고정밀이고 작동 가능한 장치가 되었습니다.

주요 특징

고속 및 저소음: 새로운 구동 시스템 덕분에 X축 및 Y축 플랫폼이 효율적이고 조용하게 작동합니다.

높은 정밀도: Z축은 세계적 수준의 하중 용량과 높은 정밀도를 보장합니다.

구조 최적화: 최적의 구조 설계와 지형을 잘 조합하여 평면에 가해지는 힘을 제거합니다.

첨단 위치 시스템: 첨단 OTS 위치 처리 시스템과 컬러 웨이퍼 이미지 정렬 시스템을 갖추고 있으며, 최대 배율 확대 기능이 소구경입니다.

호환성: 대구경 웨이퍼(φ300 mm, 최대 12인치)에 적합하며 자동 운영 시스템, 고정밀 감지, 높은 처리량, 낮은 진동 등을 갖추고 있습니다.

적용분야

UF3000EX 프로브 스테이션은 반도체 제조 공정, 특히 LSI 및 VLSI 생산 라인에서 웨이퍼 테스트에 널리 사용되며, 제품 품질과 생산 효율성을 보장하기 위해 효율적이고 정확한 전기 신호 감지를 제공할 수 있습니다.