ಡಿಸ್ಕೋ ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆಯ UV ಲೇಸರ್ ದುರಸ್ತಿ

DISCO (ಜಪಾನ್ DISCO) ORIGAMI XP ಸರಣಿಯು ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್, FPC ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುವ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ ಬೋರ್ಡ್‌ಗಳು, LED ವೇಫರ್‌ಗಳು ಇತ್ಯಾದಿಗಳಂತಹ ದುರ್ಬಲ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಸಂಸ್ಕರಿಸಲು ವಿಶೇಷವಾಗಿ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾದ ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆಯ UV ಲೇಸರ್ ಕತ್ತರಿಸುವ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯಾಗಿದೆ. ಇದರ ಪ್ರಮುಖ ಅನುಕೂಲಗಳು:

ತರಂಗಾಂತರ: 355nm (ನೇರಳಾತೀತ), ಶೀತ ಸಂಸ್ಕರಣೆ

ಸ್ಥಾನೀಕರಣ ನಿಖರತೆ: ±1μm (CCD ದೃಶ್ಯ ಸ್ಥಾನೀಕರಣದೊಂದಿಗೆ)

ಕತ್ತರಿಸುವ ವೇಗ: 500mm/s ವರೆಗೆ (ವಸ್ತುವಿನ ದಪ್ಪವನ್ನು ಅವಲಂಬಿಸಿ)

ಬುದ್ಧಿವಂತ ಧೂಳು ತೆಗೆಯುವಿಕೆ: ಸಂಯೋಜಿತ N2 ಊದುವಿಕೆ ಮತ್ತು ಸ್ಥಾಯೀವಿದ್ಯುತ್ತಿನ ಹೀರಿಕೊಳ್ಳುವ ವ್ಯವಸ್ಥೆ

II. ಸಾಮಾನ್ಯ ದೋಷ ರೋಗನಿರ್ಣಯ ಮತ್ತು ಪರಿಹಾರಗಳು

1. ಲೇಸರ್ ವಿದ್ಯುತ್ ಕಡಿತ/ಅಸ್ಥಿರತೆ

ಸಂಭವನೀಯ ಕಾರಣಗಳು:

ನೇರಳಾತೀತ ಲೇಸರ್ ಸ್ಫಟಿಕದ ವಯಸ್ಸಾಗುವಿಕೆ (Nd:YVO₄) (ಸುಮಾರು 8,000-10,000 ಗಂಟೆಗಳ ಜೀವಿತಾವಧಿ)

ಆವರ್ತನ-ದ್ವಿಗುಣಗೊಳಿಸುವ ಸ್ಫಟಿಕದ (LBO) ಮೇಲ್ಮೈ ಮಾಲಿನ್ಯ

ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಜೋಡಣೆ ಆಫ್‌ಸೆಟ್ (ಕಂಪನದಿಂದ ಉಂಟಾಗುತ್ತದೆ)

ನಿರ್ವಹಣೆ ಹಂತಗಳು:

ರೋಹಿತ ಪತ್ತೆ:

355nm ಔಟ್‌ಪುಟ್ ಅನ್ನು ಅಳೆಯಲು ಪವರ್ ಮೀಟರ್ ಬಳಸಿ, ಅಟೆನ್ಯೂಯೇಶನ್>15% ರಷ್ಟು ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಪಾತ್ ಮಾಪನಾಂಕ ನಿರ್ಣಯದ ಅಗತ್ಯವಿದೆ

ಸ್ಫಟಿಕ ನಿರ್ವಹಣೆ:

ಜಲರಹಿತ ಎಥೆನಾಲ್ + ಧೂಳು-ಮುಕ್ತ ಹತ್ತಿ ಸ್ವ್ಯಾಬ್‌ನಿಂದ LBO ಸ್ಫಟಿಕವನ್ನು ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸಿ (ಲೇಪನ ಮೇಲ್ಮೈಯನ್ನು ಮುಟ್ಟಬೇಡಿ)

ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಮಾರ್ಗ ಮಾಪನಾಂಕ ನಿರ್ಣಯ:

ಪ್ರತಿಫಲಕ ಕೋನವನ್ನು ಹೊಂದಿಸಲು DISCO ವಿಶೇಷ ಫಿಕ್ಸ್ಚರ್ ಬಳಸಿ (ಅಧಿಕಾರ ಪಾಸ್‌ವರ್ಡ್ ಅಗತ್ಯವಿದೆ)

2. ಕಟಿಂಗ್ ಪೊಸಿಷನ್ ಡ್ರಿಫ್ಟ್ (ಅಸಹಜ ನಿಖರತೆ)

ಪ್ರಮುಖ ಚೆಕ್‌ಪೋಸ್ಟ್‌ಗಳು:

ಸಿಸಿಡಿ ಕ್ಯಾಮೆರಾ ಫೋಕಸ್:

ಲೆನ್ಸ್ ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸಿ ಮತ್ತು "ಆಟೋ-ಫೋಕಸ್" ಮಾಪನಾಂಕ ನಿರ್ಣಯವನ್ನು ಪುನಃ ಮಾಡಿ.

ಮೋಷನ್ ಪ್ಲಾಟ್‌ಫಾರ್ಮ್ ಗೈಡ್ ರೈಲು:

ಲೀನಿಯರ್ ಮೋಟಾರ್ ಎನ್‌ಕೋಡರ್ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆಯನ್ನು ಪರಿಶೀಲಿಸಿ (ERR 205 ಅಲಾರಾಂ ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿದೆ)

ವಸ್ತು ಸ್ಥಿರ ನಿರ್ವಾತ ಹೀರಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆ:

ನಿರ್ವಾತದ ಮಟ್ಟವು >80kPa (ಕ್ಲೀನ್ ಪೋರಸ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಸಕ್ಷನ್ ಕಪ್) ಆಗಿರಬೇಕು.

ತ್ವರಿತ ಪರಿಶೀಲನಾ ವಿಧಾನ:

ಪ್ರಮಾಣಿತ ಗ್ರಿಡ್ ಮಾದರಿಯನ್ನು ಕತ್ತರಿಸಿ ವಿನ್ಯಾಸ ರೇಖಾಚಿತ್ರ ಮತ್ತು ನಿಜವಾದ ಮಾರ್ಗದ ನಡುವಿನ ವಿಚಲನವನ್ನು ಹೋಲಿಕೆ ಮಾಡಿ.

3. ಸಿಸ್ಟಮ್ ಅಲಾರ್ಮ್ ಕೋಡ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ

ಅಲಾರ್ಮ್ ಕೋಡ್ ಅರ್ಥ ತುರ್ತು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ

ALM 102 ಲೇಸರ್ ಹೆಡ್ ತಾಪಮಾನವು ತುಂಬಾ ಹೆಚ್ಚಿದೆ ನೀರಿನ ತಂಪಾಗಿಸುವಿಕೆಯ ಹರಿವನ್ನು ಪರಿಶೀಲಿಸಿ (2L/ನಿಮಿಷಕ್ಕಿಂತ ಹೆಚ್ಚು ಇರಬೇಕು)

ALM 303 ಸುರಕ್ಷತಾ ಇಂಟರ್‌ಲಾಕ್ ಅನ್ನು ಪ್ರಚೋದಿಸಲಾಗಿದೆ ರಕ್ಷಣಾತ್ಮಕ ಬಾಗಿಲು ಸಂವೇದಕದ ಸ್ಥಿತಿಯನ್ನು ದೃಢೀಕರಿಸಿ

ALM 408 ಧೂಳು ತೆಗೆಯುವ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯ ಒತ್ತಡವು ಸಾಕಷ್ಟಿಲ್ಲ HEPA ಫಿಲ್ಟರ್ ಅನ್ನು ಬದಲಾಯಿಸಿ (ಪ್ರತಿ 500 ಗಂಟೆಗಳಿಗೊಮ್ಮೆ)

III. ತಡೆಗಟ್ಟುವ ನಿರ್ವಹಣಾ ಯೋಜನೆ

1. ದೈನಂದಿನ ನಿರ್ವಹಣೆ

ಸಂಸ್ಕರಣಾ ಪ್ರದೇಶದಲ್ಲಿ ಉಳಿದಿರುವ ಶಿಲಾಖಂಡರಾಶಿಗಳನ್ನು ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸಿ (ಸ್ಥಾಯೀವಿದ್ಯುತ್ತಿನ ಹೀರಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆಯು ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ವಿಂಡೋವನ್ನು ಕಲುಷಿತಗೊಳಿಸುವುದನ್ನು ತಡೆಯಲು)

ಲೇಸರ್ ಪವರ್ ಡೇಟಾವನ್ನು ರೆಕಾರ್ಡ್ ಮಾಡಿ (ಏರಿಳಿತವು <±3% ಆಗಿರಬೇಕು)

2. ಮಾಸಿಕ ನಿರ್ವಹಣೆ

ತಂಪಾಗಿಸುವ ನೀರನ್ನು ಬದಲಾಯಿಸಿ (ವಾಹಕತೆ <5μS/cm)

X/Y ಆಕ್ಸಿಸ್ ರೈಲ್‌ಗಳನ್ನು ಲೂಬ್ರಿಕೇಟ್ ಮಾಡಿ (DISCO ನಿರ್ದಿಷ್ಟಪಡಿಸಿದ ಗ್ರೀಸ್ ಬಳಸಿ)

3. ವಾರ್ಷಿಕ ಆಳವಾದ ನಿರ್ವಹಣೆ

UV ಲೇಸರ್ ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಮಾರ್ಗದ ಸಂಪೂರ್ಣ ತಪಾಸಣೆ (ಮೂಲ ಮಾಪನಾಂಕ ನಿರ್ಣಯ ಉಪಕರಣ ಅಗತ್ಯವಿದೆ)

ನಿರ್ವಾತ ಪಂಪ್ ತೈಲ ಬದಲಿ ಮತ್ತು ಸೀಲ್ ಪರಿಶೀಲನೆ

IV. ನಿರ್ವಹಣಾ ವೆಚ್ಚ ಅತ್ಯುತ್ತಮೀಕರಣ ತಂತ್ರ

1. ಲೇಸರ್ ಮಾಡ್ಯೂಲ್ ವೆಚ್ಚ ಕಡಿತ ಯೋಜನೆ

ಘಟಕ ಮೂಲ ಬದಲಿ ವೆಚ್ಚ ಪರ್ಯಾಯ ಯೋಜನೆ ಉಳಿತಾಯ ಅನುಪಾತ

Nd:YVO₄ ಸ್ಫಟಿಕ ¥180,000 ಮೂರನೇ ವ್ಯಕ್ತಿಯ ಪುನರುತ್ಪಾದಿತ ಸ್ಫಟಿಕ ¥80,000 55%

ಫೋಕಸಿಂಗ್ ಲೆನ್ಸ್ ಗುಂಪು ¥65,000 ದೇಶೀಯ ಫ್ಯೂಸ್ಡ್ ಕ್ವಾರ್ಟ್ಜ್ ಲೆನ್ಸ್ ¥15,000 77%

ಚಲನೆಯ ನಿಯಂತ್ರಣ ಕಾರ್ಡ್ ¥120,000 ಚಿಪ್-ಮಟ್ಟದ ನಿರ್ವಹಣೆ ¥25,000 79%

2. ಪ್ರಮುಖ ಕೌಶಲ್ಯಗಳು

ಲೇಸರ್ ಸ್ಫಟಿಕಗಳ ಜೀವಿತಾವಧಿಯನ್ನು ವಿಸ್ತರಿಸುವುದು:

ಕಾರ್ಯಾಚರಣಾ ತಾಪಮಾನವನ್ನು 25 ಡಿಗ್ರಿ ಸೆಲ್ಸಿಯಸ್ ನಿಂದ 20 ಡಿಗ್ರಿ ಸೆಲ್ಸಿಯಸ್ ಗೆ ಇಳಿಸುವುದರಿಂದ ಜೀವಿತಾವಧಿಯನ್ನು 40% ಹೆಚ್ಚಿಸಬಹುದು.

ಗೃಹಬಳಕೆಯ ವಸ್ತುಗಳ ಪ್ರಮಾಣೀಕರಣ:

HEPA ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳು, ನಿರ್ವಾತ ಚಕ್‌ಗಳು, ಇತ್ಯಾದಿಗಳು DISCO ಹೊಂದಾಣಿಕೆ ಪರೀಕ್ಷೆಯಲ್ಲಿ ಉತ್ತೀರ್ಣವಾಗಿವೆ.

ವಿ. ಯಶಸ್ವಿ ಪ್ರಕರಣಗಳು

ಅರೆವಾಹಕ ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ ಸ್ಥಾವರ (5 ORIGAMI XPs)

ಸಮಸ್ಯೆ:

ವಾರ್ಷಿಕ ನಿರ್ವಹಣಾ ವೆಚ್ಚವು ¥1,200,000 ಮೀರಿದೆ, ಮುಖ್ಯವಾಗಿ UV ಸ್ಫಟಿಕಗಳನ್ನು ಆಗಾಗ್ಗೆ ಬದಲಾಯಿಸುವುದರಿಂದ.

ನಮ್ಮ ಪರಿಹಾರ:

ಸ್ಫಟಿಕ ತಾಪಮಾನ ಕ್ಲೋಸ್ಡ್-ಲೂಪ್ ನಿಯಂತ್ರಣ ಮಾಡ್ಯೂಲ್ ಅನ್ನು ಸ್ಥಾಪಿಸಿ.

ಸ್ಫಟಿಕ ಬದಲಿ ಬದಲಿಗೆ ಲೇಸರ್ ಪಾಲಿಶಿಂಗ್ ರಿಪೇರಿ ಬಳಸಿ.

ಫಲಿತಾಂಶಗಳು:

ಸ್ಫಟಿಕ ಬದಲಿ ಚಕ್ರವನ್ನು 8 ತಿಂಗಳಿನಿಂದ 3 ವರ್ಷಗಳಿಗೆ ವಿಸ್ತರಿಸಲಾಗಿದೆ.

ವಾರ್ಷಿಕ ಸಮಗ್ರ ವೆಚ್ಚವನ್ನು ¥400,000 ಕ್ಕೆ ಇಳಿಸಲಾಗಿದೆ

VI. ತಾಂತ್ರಿಕ ಬೆಂಬಲ

ಬಿಡಿಭಾಗಗಳ ದಾಸ್ತಾನು: UV ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಮಾಡ್ಯೂಲ್‌ಗಳು, ಚಲನೆಯ ನಿಯಂತ್ರಣ ಮಂಡಳಿಗಳು, ಇತ್ಯಾದಿ.

ರಿಮೋಟ್ ಡಯಾಗ್ನೋಸಿಸ್: DISCO ಕನೆಕ್ಟ್ ಪ್ಲಾಟ್‌ಫಾರ್ಮ್ ಮೂಲಕ ಸಲಕರಣೆಗಳ ಲಾಗ್‌ಗಳನ್ನು ವಿಶ್ಲೇಷಿಸಿ.

ಕಸ್ಟಮೈಸ್ ಮಾಡಿದ ನಿರ್ವಹಣಾ ಪರಿಹಾರಗಳನ್ನು ಪಡೆಯಿರಿ

ನಮ್ಮ ಲೇಸರ್ ನಿರ್ವಹಣಾ ತಜ್ಞರನ್ನು ಉಚಿತವಾಗಿ ಸಂಪರ್ಕಿಸಿ:

"ORIGAMI XP ಅಲಾರ್ಮ್ ಕೋಡ್ ತ್ವರಿತ ಉಲ್ಲೇಖ ಕೈಪಿಡಿ"

ನಿಮ್ಮ ಸಲಕರಣೆಗಳ ಆರೋಗ್ಯ ಮೌಲ್ಯಮಾಪನ ವರದಿ

ನಿಖರವಾದ ಕತ್ತರಿಸುವ ಉಪಕರಣಗಳ ಪರಿಣಾಮಕಾರಿ ಮತ್ತು ಸ್ಥಿರ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಜಪಾನೀಸ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಮಾನದಂಡಗಳೊಂದಿಗೆ ಸ್ಥಳೀಯ ಸೇವೆಗಳನ್ನು ಅಭ್ಯಾಸ ಮಾಡಿ.

—— ಏಷ್ಯಾ ಪೆಸಿಫಿಕ್‌ನಲ್ಲಿ ಡಿಸ್ಕೋ ಲೇಸರ್ ಉಪಕರಣಗಳ ನಿರ್ವಹಣೆ ಸೇವಾ ಪೂರೈಕೆದಾರ