ಯುನಿವರ್ಸಲ್ ಇನ್ಸ್ಟ್ರುಮೆಂಟ್ಸ್ ಯುನಿವರ್ಸಲ್ ಫ್ಯೂಜಿಯನ್ ಚಿಪ್ ಮೌಂಟರ್ನ ವಿಶೇಷಣಗಳು ಈ ಕೆಳಗಿನಂತಿವೆ:
ನಿಯೋಜನೆಯ ನಿಖರತೆ ಮತ್ತು ವೇಗ:
ಪ್ಲೇಸ್ಮೆಂಟ್ ನಿಖರತೆ: ±10 ಮೈಕ್ರಾನ್ ಗರಿಷ್ಠ ನಿಖರತೆ, <3 ಮೈಕ್ರಾನ್ ಪುನರಾವರ್ತನೆ.
ಪ್ಲೇಸ್ಮೆಂಟ್ ವೇಗ: ಮೇಲ್ಮೈ ಆರೋಹಣ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ಗಳಿಗಾಗಿ 30K cph (ಗಂಟೆಗೆ 30,000 ವೇಫರ್ಗಳು) ಮತ್ತು ಸುಧಾರಿತ ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ಗಾಗಿ 10K cph (ಗಂಟೆಗೆ 10,000 ವೇಫರ್ಗಳು) ವರೆಗೆ.
ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಸಾಮರ್ಥ್ಯ ಮತ್ತು ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ ವ್ಯಾಪ್ತಿ:
ಚಿಪ್ ಪ್ರಕಾರ: ವ್ಯಾಪಕ ಶ್ರೇಣಿಯ ಚಿಪ್ಸ್, ಫ್ಲಿಪ್ ಚಿಪ್ಸ್ ಮತ್ತು 300 ಎಂಎಂ ವರೆಗಿನ ಪೂರ್ಣ ಶ್ರೇಣಿಯ ವೇಫರ್ ಗಾತ್ರಗಳನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸುತ್ತದೆ.
ತಲಾಧಾರದ ಪ್ರಕಾರ: ಫಿಲ್ಮ್, ಫ್ಲೆಕ್ಸ್ ಮತ್ತು ದೊಡ್ಡ ಬೋರ್ಡ್ಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಂತೆ ಯಾವುದೇ ತಲಾಧಾರದ ಮೇಲೆ ಇರಿಸಬಹುದು.
ಫೀಡರ್ ಪ್ರಕಾರ: ಹೈ-ಸ್ಪೀಡ್ ವೇಫರ್ ಫೀಡರ್ಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಂತೆ ವಿವಿಧ ಫೀಡರ್ಗಳನ್ನು ಬಳಸಬಹುದು.
ತಾಂತ್ರಿಕ ವೈಶಿಷ್ಟ್ಯಗಳು ಮತ್ತು ಕಾರ್ಯಗಳು:
ಹೈ-ನಿಖರವಾದ ಸರ್ವೋ ಡ್ರೈವನ್ ಪಿಕ್ ಹೆಡ್ಗಳು: 14 ಉನ್ನತ-ನಿಖರ (ಸಬ್-ಮೈಕ್ರಾನ್ ಎಕ್ಸ್, ವೈ, ಝಡ್) ಸರ್ವೋ-ಡ್ರೈವನ್ ಪಿಕ್ ಹೆಡ್ಗಳು.
ದೃಷ್ಟಿ ಜೋಡಣೆ: 100% ಪೂರ್ವ-ಪಿಕ್ ದೃಷ್ಟಿ ಮತ್ತು ಡೈ ಅಲೈನ್ಮೆಂಟ್.
ಒಂದು-ಹಂತದ ಸ್ವಿಚಿಂಗ್: ಒಂದು-ಹಂತದ ವೇಫರ್-ಟು-ಮೌಂಟ್ ಸ್ವಿಚಿಂಗ್.
ಹೈ-ಸ್ಪೀಡ್ ಪ್ರೊಸೆಸಿಂಗ್: ಪ್ರತಿ ಗಂಟೆಗೆ 16K ವೇಫರ್ಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಡ್ಯುಯಲ್ ವೇಫರ್ ಪ್ಲಾಟ್ಫಾರ್ಮ್ಗಳು (ಫ್ಲಿಪ್ ಚಿಪ್) ಮತ್ತು ಗಂಟೆಗೆ 14,400 ವೇಫರ್ಗಳು (ಫ್ಲಿಪ್ ಚಿಪ್ ಇಲ್ಲ).
ದೊಡ್ಡ ಗಾತ್ರದ ಸಂಸ್ಕರಣೆ: ಗರಿಷ್ಠ ತಲಾಧಾರ ಸಂಸ್ಕರಣೆಯ ಗಾತ್ರ 635mm x 610mm, ಮತ್ತು ಗರಿಷ್ಠ ವೇಫರ್ ಗಾತ್ರ 300mm (12 ಇಂಚುಗಳು).
ಬಹುಮುಖತೆ: 52 ವಿಧದ ಚಿಪ್ಗಳು, ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ಪರಿಕರ ಬದಲಾವಣೆ (ನಳಿಕೆ ಮತ್ತು ಎಜೆಕ್ಟರ್ ಪಿನ್ಗಳು) ಮತ್ತು 0.1mm x 0.1mm ನಿಂದ 70mm x 70mm ವರೆಗಿನ ಗಾತ್ರಗಳನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸುತ್ತದೆ.
ಈ ವಿಶೇಷಣಗಳು ಯುನಿವರ್ಸಲ್ ಫ್ಯೂಜಿಯನ್ ಡೈ ಮೌಂಟರ್ನ ಉತ್ತಮ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ನಿಖರತೆ, ವೇಗ ಮತ್ತು ಸಂಸ್ಕರಣಾ ಶಕ್ತಿಯ ವಿಷಯದಲ್ಲಿ ಪ್ರದರ್ಶಿಸುತ್ತವೆ, ಇದು ವಿವಿಧ ಚಿಪ್ ಮತ್ತು ತಲಾಧಾರದ ಪ್ರಕಾರಗಳಿಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ನಮ್ಯತೆ ಮತ್ತು ಬಹುಮುಖತೆಯೊಂದಿಗೆ