ASM ಲೇಸರ್ ಕಟಿಂಗ್ ಮೆಷಿನ್ LS100-2 ಒಂದು ಲೇಸರ್ ಡೈಸಿಂಗ್ ಯಂತ್ರವಾಗಿದ್ದು, ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಮಿನಿ/ಮೈಕ್ರೋ LED ಚಿಪ್ಗಳ ತಯಾರಿಕೆಗೆ ಸೂಕ್ತವಾದ ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರವಾದ ಕತ್ತರಿಸುವ ಅಗತ್ಯಗಳಿಗಾಗಿ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ. ಸಾಧನವು ಈ ಕೆಳಗಿನ ಮುಖ್ಯ ಲಕ್ಷಣಗಳು ಮತ್ತು ಅನುಕೂಲಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ:
ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರವಾದ ಕತ್ತರಿಸುವುದು: LS100-2 ನ ಕತ್ತರಿಸುವ ಆಳದ ನಿಖರತೆ σ≤1um ಆಗಿದೆ, XY ಕತ್ತರಿಸುವ ಸ್ಥಾನದ ನಿಖರತೆಯು σ≤0.7um ಆಗಿದೆ ಮತ್ತು ಕತ್ತರಿಸುವ ಮಾರ್ಗದ ಅಗಲವು ≤14um ಆಗಿದೆ. ಈ ನಿಯತಾಂಕಗಳು ಚಿಪ್ ಕತ್ತರಿಸುವಿಕೆಯ ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ.
ಸಮರ್ಥ ಉತ್ಪಾದನೆ: ಈ ಉಪಕರಣವು ಪ್ರತಿ ಗಂಟೆಗೆ ಸರಿಸುಮಾರು 10 ಮಿಲಿಯನ್ ಚಿಪ್ಗಳನ್ನು ಕಡಿತಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ, ಉತ್ಪಾದನಾ ದಕ್ಷತೆಯನ್ನು ಗಮನಾರ್ಹವಾಗಿ ಸುಧಾರಿಸುತ್ತದೆ.
ಪೇಟೆಂಟ್ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನ: LS100-2 ಕತ್ತರಿಸುವಿಕೆಯ ಸ್ಥಿರತೆ ಮತ್ತು ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹತೆಯನ್ನು ಇನ್ನಷ್ಟು ಸುಧಾರಿಸಲು ಹಲವಾರು ಪೇಟೆಂಟ್ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನಗಳನ್ನು ಅಳವಡಿಸಿಕೊಂಡಿದೆ.
ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ ವ್ಯಾಪ್ತಿ: 4" ಮತ್ತು 6" ವೇಫರ್ಗಳಿಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ, ವೇಫರ್ ದಪ್ಪವು 15um ಗಿಂತ ಕಡಿಮೆ ಬದಲಾಗುತ್ತದೆ, ವರ್ಕ್ಬೆಂಚ್ ಗಾತ್ರವು 168mm, 260mm ಮತ್ತು 290 ° ಆಗಿದೆ, ಇದು ವಿಭಿನ್ನ ಗಾತ್ರಗಳು ಮತ್ತು ದಪ್ಪಗಳ ಕತ್ತರಿಸುವ ಅಗತ್ಯಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸುತ್ತದೆ.
ಇದರ ಜೊತೆಗೆ, LS100-2 ಲೇಸರ್ ಡೈಸಿಂಗ್ ಯಂತ್ರವು ಮಿನಿ/ಮೈಕ್ರೋ ಎಲ್ಇಡಿ ಚಿಪ್ ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ಪ್ರಾಮುಖ್ಯತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ. ಮಿನಿ/ಮೈಕ್ರೊ ಎಲ್ಇಡಿ ಚಿಪ್ಗಳಿಗೆ ಅತ್ಯಂತ ಹೆಚ್ಚಿನ ಕತ್ತರಿಸುವ ನಿಖರತೆಯ ಅಗತ್ಯವಿರುವುದರಿಂದ, ಸಾಮಾನ್ಯ ಉಪಕರಣಗಳಿಗೆ ಇಳುವರಿ ಮತ್ತು ಉತ್ಪಾದನೆಯನ್ನು ಒಂದೇ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಕಷ್ಟವಾಗುತ್ತದೆ. LS100-2 ಈ ಸಮಸ್ಯೆಯನ್ನು ಅದರ ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ದಕ್ಷತೆಯ ಮೂಲಕ ಪರಿಹರಿಸುತ್ತದೆ, ಇಳುವರಿ ಮತ್ತು ಉತ್ಪಾದನೆ ಎರಡಕ್ಕೂ ಉದ್ಯಮದ ಬೇಡಿಕೆಯನ್ನು ಪೂರೈಸುತ್ತದೆ