Xiton Scientific 固体レーザー修理

Xiton Laser IXION 193 SLMは、科学研究および産業分野において独自の重要な用途を持つ単一周波数全固体レーザーシステムです。そのコア技術は、特定の波長と高い安定性を備えたレーザー出力の生成に重点を置き、レーザーパラメータに厳しい要件が求められる様々なシナリオに対応するソリューションを提供します。

（II）特徴

高精度な波長出力：中心波長は185～194nmの範囲でカスタマイズ可能で、ご注文確定後には固定波長として設定することも可能です。その精度は最大0.01nmです。一般的に使用される動作波長は193.368nmで、この深紫外線波長は多くの用途において不可欠な役割を果たしています。

安定したパルス特性：出力パルスエネルギーは1.6μJ、パルス幅は8ns～12ns、繰り返し周波数範囲は1kHz～15kHzです。さらに、パルス間安定性（σ<2.5%）が高いため、繰り返し作業におけるレーザー出力の一貫性を確保できます。これは、精密なエネルギー制御が求められる実験や加工作業において非常に重要です。

コンパクトな構造設計：レーザーヘッドの寸法は795mm x 710mm x 154mm、重量は74kgです。電源および冷却装置の寸法は600mm x 600mm x 600mm、重量は78kgです。コンパクトな設計により、高い性能を確保しながら設置スペースを削減し、様々な作業環境に容易に統合できます。動作電源はAC 85V～264V、消費電力は650Wで、CDRH安全基準を満たしています。

2. 一般的な障害情報

（I）電力関連の障害

主電源故障警報：入力主電源電圧が±10%の範囲を超えるか、入力相順が誤っている場合、主電源故障警報が作動します。このとき、主電源、コンピュータ、高圧電源がオフになり、レーザーシステムは正常に動作せず、ディスプレイに何も表示されない場合があります。これは、グリッド電圧の変動、電源コードの接続の緩みや損傷、電源モジュールの内部故障などが原因である可能性があります。

（II）異常レーザー出力障害

出力低下：考えられる原因としては、レーザー利得媒体の性能低下、励起光源の出力低下、光学部品の汚染や損傷によるレーザー透過損失の増加などが挙げられます。例えば、レーザー共振器内の光学レンズ表面に埃、油、その他の汚染物質が付着すると、反射および透過時にレーザーが散乱・吸収され、出力が低下します。

（III）冷却システムの故障

冷却水温過度警報：冷却システムは、レーザーシステムの動作中に発生する熱を除去し、レーザー増幅媒体や励起光源などの主要コンポーネントが適切な温度範囲内で動作することを保証する役割を果たします。冷却水温が高すぎて設定された閾値（通常は25～30℃、具体的な温度は機器の要件によって異なります）を超えると、警報が発せられます。この状況の原因としては、冷却水不足、冷却水ポンプの故障、冷却装置の放熱不良（ラジエーターへの埃の蓄積、ファンの故障など）などが考えられます。

III. メンテナンス方法

（I）定期メンテナンス

光学システムのメンテナンス：光学システムの包括的な検査とメンテナンスを定期的に実施してください（例えば3～6ヶ月ごと、具体的な期間は実際の使用状況によって異なります）。ビーム品質分析装置や分光計などの専門的な光学試験装置を使用して、ビーム品質やスペクトル帯域幅などのパラメータを試験してください。光学部品に汚染や損傷が見つかった場合は、適時に清掃または交換する必要があります。

（II）故障修理後のメンテナンス

包括的な検査：レーザーシステムの修理後、すぐに通常使用に戻さず、包括的な検査を実施してください。関連するすべてのコンポーネントの動作状態を再確認し、障害が完全に解消され、新たな問題が発生していないことを確認してください。例えば、レーザー増幅媒体を交換した後、レーザーの出力、パルスエネルギー、波長などのパラメータを再測定し、機器の公称値と比較して、性能が正常に戻ったことを確認してください。

保守ファイルの記録：故障現象、修理プロセス、交換部品、修理後の試験結果を詳細に記録し、完全な設備保守ファイルを作成します。これらのファイルは、設備の保守履歴や性能変化を追跡するのに役立つだけでなく、その後の保守や改善のための重要な参考資料となります。