ACCRETECH プローブステーション UF3000EX

ACCRETECH プローブステーション UF3000EX は、半導体製品の品質を確保するために設計された、各ウェーハ上の各チップの電気信号検出装置です。この装置は次世代技術を採用しており、新しいアルゴリズムとウェーハハンドリング技術により生産能力が大幅に向上しています。高速で低ノイズの X 軸と Y 軸プラットフォームは新しい駆動システムの恩恵を受け、Z 軸は世界クラスの負荷容量と高精度を保証します。装置の設計構造は、最適な構造設計とトポロジーの良好な組み合わせにより、平面上の力を確実に排除します。さらに、先進的な OTS 位置処理システムとカラーウェーハ画像アライメントシステム、および装備された小型最大拡大機能により、UF3000EX は業界で高精度で操作性の高い装置となっています。

主な特徴

高速かつ低騒音: 新しい駆動システムにより、X 軸および Y 軸プラットフォームが効率的かつ静かに動作します。

高精度: Z 軸は世界クラスの耐荷重と高精度を保証します。

構造の最適化: 最適な構造設計とトポロジーの適切な組み合わせにより、平面にかかる力が排除されます。

高度な位置決めシステム：高度なOTS位置処理システムとカラーウェーハ画像アライメントシステムを搭載し、最大倍率の小さな拡大機能を備えています。

適合性：大口径ウェーハ（φ300mm、最大12インチ）に対応し、自動運転システム、高精度検出、高スループット、低振動などの特長を備えています。

応用分野

UF3000EXプローブステーションは、半導体製造プロセス、特にLSIおよびVLSIの生産ラインにおけるウェーハテストに広く使用されており、効率的で正確な電気信号検出を提供し、製品の品質と生産効率を確保します。