Stasiun Probe ACCRETECH UF3000EX adalah perangkat deteksi sinyal listrik untuk setiap chip pada setiap wafer, yang dirancang untuk memastikan kualitas produk semikonduktor. Perangkat ini menggunakan teknologi generasi berikutnya, yang secara signifikan meningkatkan kapasitas produksi melalui algoritma baru dan teknologi penanganan wafer. Platform sumbu X dan Y berkecepatan tinggi dan rendah kebisingannya mendapatkan keuntungan dari sistem penggerak baru, sementara sumbu Z memastikan kapasitas beban kelas dunia dan presisi tinggi. Struktur desain perangkat ini secara andal menghilangkan gaya pada bidang melalui kombinasi yang baik antara desain struktural dan topologi yang optimal. Selain itu, sistem pemrosesan posisi OTS yang canggih dan sistem penyelarasan gambar wafer berwarna, serta fungsi pembesaran maksimum kecil yang dilengkapi, menjadikan UF3000EX sebagai perangkat yang presisi tinggi dan dapat dioperasikan di industri.
Fitur Utama
Kecepatan tinggi dan kebisingan rendah: Sistem penggerak baru membuat platform sumbu X dan Y berjalan secara efisien dan senyap.
Presisi tinggi: Sumbu Z memastikan kapasitas beban kelas dunia dan presisi tinggi.
Optimalisasi struktural: Gaya pada bidang dihilangkan melalui kombinasi yang baik antara desain struktural dan topologi yang optimal.
Sistem pemosisian canggih: Dilengkapi dengan sistem pemrosesan posisi OTS canggih dan sistem penyelarasan gambar wafer warna, dengan fungsi pembesaran perbesaran maksimum kecil.
Kompatibilitas: Cocok untuk wafer berdiameter besar (φ300 mm, hingga 12 inci), dengan sistem operasi otomatis, deteksi presisi tinggi, throughput tinggi, getaran rendah, dll.
Bidang aplikasi
Stasiun probe UF3000EX banyak digunakan dalam pengujian wafer dalam proses manufaktur semikonduktor, terutama di jalur produksi LSI dan VLSI, yang dapat memberikan deteksi sinyal listrik yang efisien dan akurat untuk memastikan kualitas produk dan efisiensi produksi.