DISCO hár nákvæmni UV leysir viðgerð

DISCO (Japan DISCO) ORIGAMI XP röð er UV leysirskurðarkerfi með mikilli nákvæmni sem er hannað sérstaklega til að vinna brothætt efni eins og hálfleiðara umbúðir, FPC sveigjanlegar hringrásarplötur, LED oblátur osfrv. Helstu kostir þess eru:

Bylgjulengd: 355nm (útfjólublátt), köld vinnsla

Staðsetningarnákvæmni: ±1μm (með CCD sjónrænni staðsetningu)

Skurðarhraði: allt að 500 mm/s (fer eftir efnisþykkt)

Snjöll rykhreinsun: Innbyggt N2 blásturs- og rafstöðueiginlegt aðsogskerfi

II. Algeng bilanagreining og lausnir

1. Laser máttur minnkun / óstöðugleiki

Mögulegar orsakir:

Öldrun útfjólubláa leysikristalla (Nd:YVO₄) (líftími um 8.000-10.000 klukkustundir)

Yfirborðsmengun tíðni tvöföldunar kristals (LBO)

Optísk jöfnunarjöfnun (af völdum titrings)

Viðhaldsskref:

Litrófsgreining:

Notaðu aflmæli til að mæla 355nm úttak, dempun>15% krefst ljósleiðarkvörðunar

Viðhald kristals:

Hreinsaðu LBO kristal með vatnsfríu etanóli + ryklausri bómullarþurrku (ekki snerta húðunaryfirborðið)

Kvörðun ljósleiðar:

Notaðu DISCO sérstaka festingu til að stilla endurskinshornið (leyfislykilorð krafist)

2. Svif skurðarstöðu (óeðlileg nákvæmni)

Helstu eftirlitsstöðvar:

CCD myndavél fókus:

Hreinsaðu linsuna og framkvæmdu aftur „Auto-Focus“ kvörðun

Stýripallur fyrir hreyfingu:

Athugaðu endurgjöf línulegs mótorkóðara (ERR 205 viðvörun er algeng)

Efni fast tómarúm aðsog:

Tómarúmsstig þarf að vera > 80kPa (hreinn porous keramik sogbolli)

Fljótleg staðfestingaraðferð:

Skerið venjulegt ristmynstur og berðu saman frávikið á milli hönnunarteikningarinnar og raunverulegrar leiðar

3. Vinnsla viðvörunarkóða kerfis

Viðvörunarkóði Merking Neyðarvinnsla

ALM 102 Hitastig leysishaussins er of hátt Athugaðu flæði vatnskælirans (þarf að vera >2L/mín.)

ALM 303 Öryggislæsing virkjuð Staðfestu stöðu skynjara hlífðarhurðar

ALM 408 Þrýstingur í rykhreinsikerfi er ófullnægjandi Skiptu um HEPA síu (á 500 klst fresti)

III. Fyrirbyggjandi viðhaldsáætlun

1. Daglegt viðhald

Hreinsaðu leifar rusl á vinnslusvæðinu (til að koma í veg fyrir að rafstöðueiginleiki aðsogs mengi sjóngluggann)

Skráðu leysiraflsgögn (sveifla ætti að vera <±3%)

2. Mánaðarlegt viðhald

Skiptu um kælivatn (leiðni <5μS/cm)

Smyrðu X/Y ás teinar (notaðu DISCO tilgreinda fitu)

3. Árlegt ítarlegt viðhald

Full skoðun á ljósleiðara útfjólublás leysis (upprunalegur kvörðunarbúnaður krafist)

Skipt um olíu í lofttæmdardælu og innsiglisskoðun

IV. Stefna til að hagræða viðhaldskostnaði

1. Kostnaðarlækkunaráætlun fyrir leysieiningu

Íhlutur Upprunalegur endurnýjunarkostnaður Valáætlun Sparnaðarhlutfall

Nd:YVO₄ kristal ¥180.000 Endurmyndaður kristal frá þriðja aðila ¥80.000 55%

Fókuslinsuhópur 65.000 ¥ Innlent samrætt kvarslinsa 15.000 ¥ 77%

Hreyfistýringarkort 120.000 ¥ viðhald á flísum 25.000 ¥ 79%

2. Lykilfærni

Lengja líf leysikristalla:

Að lækka rekstrarhitastigið úr 25 ℃ í 20 ℃ getur aukið líftímann um 40%

Vottun á innlendum rekstrarvörum:

HEPA síur, lofttæmingar osfrv. hafa staðist DISCO samhæfisprófið

V. Árangursrík mál

Umbúðaverksmiðja fyrir hálfleiðara (5 ORIGAMI XP)

Vandamál:

Árlegur viðhaldskostnaður fer yfir 1.200.000 ¥, aðallega vegna þess að útfjólublá kristal er oft skipt út

Lausnin okkar:

Settu upp kristalhita stjórnaeiningu með lokuðu lykkju

Notaðu laser fægja viðgerðir í stað kristal skipti

Niðurstöður:

Kristallskiptaferill lengdur úr 8 mánuðum í 3 ár

Árlegur heildarkostnaður lækkaður í 400.000 ¥

VI. Tæknileg aðstoð

Varahlutabirgðir: UV sjóneiningar, hreyfistýringarborð osfrv.

Fjargreining: Greindu búnaðarskrár í gegnum DISCO Connect pallinn

Fáðu sérsniðnar viðhaldslausnir

Hafðu samband við leysiviðhaldssérfræðinga okkar ókeypis:

"ORIGAMI XP viðvörunarkóða flýtileiðbeiningarhandbók"

Heilsumatsskýrsla búnaðarins þíns

Æfðu staðbundna þjónustu með japönskum ferlistöðlum til að tryggja skilvirka og stöðuga notkun nákvæmnisskurðarbúnaðar

—— DISCO leysibúnaður viðhaldsþjónusta í Asíu Kyrrahafi