ACCRETECH rannsakastöð UF3000EX

ACCRETECH Probe Station UF3000EX er rafmagnsmerkjaskynjunartæki fyrir hverja flís á hverri oblátu, hannað til að tryggja gæði hálfleiðaravara. Tækið notar næstu kynslóðar tækni, sem bætir framleiðslugetu verulega með nýjum reikniritum og meðhöndlunartækni fyrir oblátur. Háhraða, hávaðalítil X og Y ás pallar njóta góðs af nýja drifkerfinu, en Z ásinn tryggir heimsklassa burðargetu og mikla nákvæmni. Hönnunarbygging tækisins útilokar áreiðanlega kraftinn á flugvélinni með góðri samsetningu ákjósanlegrar byggingarhönnunar og staðfræði. Að auki gerir hið háþróaða OTS stöðuvinnslukerfi og litaskífumyndastillingarkerfi, sem og litla hámarksstækkunaraðgerðina, UF3000EX að mikilli nákvæmni og nothæfu tæki í greininni.

Helstu eiginleikar

Mikill hraði og lítill hávaði: Nýja drifkerfið gerir X- og Y-ása pallana keyra á skilvirkan og hljóðlátan hátt.

Mikil nákvæmni: Z-ásinn tryggir burðargetu á heimsmælikvarða og mikla nákvæmni.

Byggingarhagræðing: Krafturinn á flugvélinni er eytt með góðri samsetningu ákjósanlegrar byggingarhönnunar og staðfræði.

Háþróað staðsetningarkerfi: Útbúið háþróuðu OTS stöðuvinnslukerfi og litaskífumyndastillingarkerfi, með lítilli hámarksstækkunaraðgerð.

Samhæfni: Hentar fyrir diska með stórum þvermál (φ300 mm, allt að 12 tommur), með sjálfvirku stýrikerfi, mikilli nákvæmni uppgötvun, mikilli afköst, lítill titringur osfrv.

Umsóknarreitur

UF3000EX rannsaka stöð er mikið notað í oblátaprófun í hálfleiðara framleiðsluferli, sérstaklega í framleiðslulínum LSI og VLSI, sem getur veitt skilvirka og nákvæma rafmerkjaskynjun til að tryggja gæði vöru og framleiðslu skilvirkni