DISCO ostyavágó gép DFL7341

DISCO szeletvágó gép: A DFL7341 lézeres láthatatlan vágógép egy körülbelül 1300 nm hullámhosszú infravörös lézert fókuszál a szilícium szelet belsejébe, hogy módosított réteget hozzon létre, majd az ostyát szemcsékre osztja a film kiterjesztésével és más módszerekkel az alacsony károsodás elérése érdekében. nagy pontosságú és kiváló minőségű vágási hatások. Ez a módszer csak módosított réteget képez a szilícium ostyán belül, elnyomja a feldolgozási törmelék képződését, és nagy részecskeigényű mintákhoz alkalmas.

Nagy pontosság és nagy hatékonyság: A DFL7341 száraz feldolgozási technológiát alkalmaz, nem igényel tisztítást, és alkalmas gyenge terhelésállóságú tárgyak feldolgozására. Vágóhoronyának szélessége nagyon keskeny lehet, ami segít csökkenteni a vágási utat. A munkatárcsa nagy pontosságú, az X tengely lineáris pontossága ≤ 0,002 mm/210 mm, az Y tengely lineáris pontossága ≤ 0,003 mm/210 mm, és a Z tengely pozicionálási pontossága ≤ 0,001 mm. A vágási sebesség 1-1000 mm/s, a méretfelbontás 0,1 mikron.

Alkalmazási terület: A berendezést főként legfeljebb 8 hüvelyk méretű szilícium lapkák vágására használják. Alkalmas 0,1-0,7 mm vastagságú és 0,5 mm-nél nagyobb szemcseméretű tiszta szilícium lapkák vágására. A vágás utáni kockázási nyomok körülbelül néhány mikronosak, és az ostya felületén és hátoldalán nincs éles összeomlás vagy olvadási sérülés.

Műszaki paraméterek: A DFL7341 lézeres láthatatlan vágórendszer kazettás emelőt, szállítószalagot, beállító rendszert, feldolgozó rendszert, operációs rendszert, állapotjelzőt, lézermotort, hűtőt és egyéb alkatrészeket tartalmaz. Az X-tengely vágási sebessége 1-1000 mm/s, az Y-tengely méretfelbontása 0,1 mikron, a mozgási sebesség 200 mm/s; a Z-tengely méretfelbontása 0,1 mikron, a mozgási sebesség 50 mm/s; a Q-tengely állítható tartománya 380 fok.

Alkalmazási forgatókönyvek: A DFL7341 alkalmas a félvezetőiparban, különösen a chip-csomagolási folyamatban, amely biztosítja a chipek csomagolásának pontosságát és stabilitását, maximalizálja a chip teljesítménypotenciálját, és javítja a gyártás hatékonyságát. Összefoglalva, a DISCO DFL7341 vágógép fontos szerepet játszik a félvezető- és elektronikai iparban. Nagy pontosságú és nagy hatékonyságú vágási technológiája révén biztosítja a termékek minőségét és gyártási hatékonyságát.