Az ACCRETECH Probe Station UF3000EX egy elektromos jelérzékelő eszköz minden egyes lapkához, amelyet a félvezető termékek minőségének biztosítására terveztek. A készülék új generációs technológiát alkalmaz, amely új algoritmusok és lapkakezelési technológia révén jelentősen javítja a gyártási kapacitást. Nagy sebességű, alacsony zajszintű X és Y tengelyes platformjai az új hajtásrendszer előnyeit élvezik, míg a Z tengely világszínvonalú teherbírást és nagy pontosságot biztosít. A készülék tervezési felépítése az optimális szerkezeti kialakítás és topológia jó kombinációja révén megbízhatóan kiküszöböli a síkra ható erőt. Ezen túlmenően a fejlett OTS pozíciófeldolgozó rendszer és a színes lapka képigazító rendszer, valamint a kis maximális nagyítási funkcióval felszerelt UF3000EX az ipar nagy pontosságú és működőképes eszközévé teszi.
Főbb jellemzők
Nagy sebesség és alacsony zajszint: Az új hajtásrendszernek köszönhetően az X és Y tengely platformjai hatékonyan és csendesen futnak.
Nagy pontosság: A Z tengely világszínvonalú teherbírást és nagy pontosságot biztosít.
Szerkezeti optimalizálás: A síkra ható erőt az optimális szerkezeti tervezés és a topológia jó kombinációja küszöböli ki.
Fejlett pozicionáló rendszer: Fejlett OTS pozíciófeldolgozó rendszerrel és színes ostya képigazító rendszerrel, kis maximális nagyítású nagyítási funkcióval.
Kompatibilitás: Alkalmas nagy átmérőjű ostyákhoz (φ300 mm, legfeljebb 12 hüvelyk), automatikus operációs rendszerrel, nagy pontosságú észleléssel, nagy áteresztőképességgel, alacsony vibrációval stb.
Alkalmazási mező
Az UF3000EX szondaállomást széles körben használják a félvezető gyártási folyamatban, különösen az LSI és VLSI gyártósoraiban, amelyek hatékony és pontos elektromos jelérzékelést biztosítanak a termék minőségének és a termelés hatékonyságának biztosítása érdekében.