ការណែនាំលម្អិត៖
ប្រព័ន្ធបិទភ្ជាប់ដោយស្វ័យប្រវត្តិយ៉ាងពេញលេញ និងប្រព័ន្ធបន្ទះឈីបត្រឡប់
■ សមត្ថភាពគ្រប់គ្រងសម្ភារៈប្រភេទក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូនតែមួយគត់ ជាពិសេសសមរម្យសម្រាប់ស្រទាប់ខាងក្រោម 8 អ៊ីញដែលងាយនឹងកោស
■ បច្ចេកវិទ្យាដំណើរការ Zhuanli ភាពត្រឹមត្រូវ +25μm/+15um_upward នៅតែអាចរក្សាបាននូវសមត្ថភាពផលិតខ្ពស់ក្នុងមួយម៉ោងគឺ 12K/H។
■ សមត្ថភាពគ្រប់គ្រងសម្ភារៈដោយស្វ័យប្រវត្តិ (ជាជម្រើស)
■ ប្រព័ន្ធផ្ទុក និងផ្ទុក wafer ដោយស្វ័យប្រវត្តិ (ជាជម្រើស)
■ ក្បាលម៉ាស៊ីនប្តូរស្វ័យប្រវត្តិ 4 (ជាជម្រើស)
■ សមត្ថភាពដំណើរការបន្ទះឈីប FC ត្រឡប់ (ជាជម្រើស)
■បាញ់ថ្នាំកាវសម្រាប់បាញ់ថ្នាំមុន (ជាជម្រើស)
■ 1 កម្មវិធីអានបាកូដ (ជាជម្រើស) លើបណ្តាញ (ជាជម្រើស)
■ គាំទ្រការផ្តល់ចំណីបញ្ច្រាសដើម្បីគ្រប់គ្រងផលិតផលវេចខ្ចប់ស្នូលចម្រុះ
■ ប្រព័ន្ធកាវទ្វេ XY ដែលជំរុញដោយម៉ូទ័រលីនេអ៊ែរ ប្រើសម្រាប់ការបិទភ្ជាប់ប្រាក់ផ្សេងៗ កាវដែលមានចរន្ត ឬមិនដំណើរការ
■ ប្រព័ន្ធដៃសម្រាប់ផ្សារដែករ៉ូតារីស ជំនួសបន្ទះឈីបកែតម្រូវតារាង wafer បង្វិល