en
id
sk
srp
swe
it
pt
ben
may
bel
nl
fra
th
vie
ru
jp
kor
de
arm
aze
bos
bul
bur
cs
dan
div
el
est
fil
fin
gle
glg
grn
heb
hi
hkm
hrv
hu
ice
kan
kin
lao
lav
lit
ltz
lug
mao
mlt
nep
nor
nya
ori
orm
per
pl
rom
san
som
spa
swa
tam
tr
ukr
urd
wel
xho
Spectra Physics Quasi Continuous Laser (QCW) Vanguard One UV125 הוא לייזר אולטרה סגול מעין רציף לעיבוד שבבי מדויק, המשלב תפוקת הספק גבוהה ואיכות קרן מעולה. להלן מבוא למבנה שלו, לתקלות נפוצות ולאמצעי תחזוקה:
1. מבנה
חלל תהודה לייזר
מקור זרע: בדרך כלל גביש לייזר Nd:YVO₄ שנשאב דיודה שמפיק אור בתדר יסוד של 1064nm.
מודול Q-switching: מיתוג Q אקוסטו-אופטי (מתג AO-Q) או אלקטרו-אופטי Q-switching (מתג EO-Q) להפקת פולסים קצרים.
מודול הכפלת תדר: ממיר 1064nm ל-532nm (הרמונית שנייה) דרך גביש KTP/LBO, ולאחר מכן ל-355nm (פלט הרמוני שלישי, אולטרה סגול) דרך גביש BBO.
מערכת שאיבה
מערך דיודות לייזר: מספק אנרגיית משאבה עבור גביש Nd:YVO₄, הדורש בקרת טמפרטורה מדויקת (קירור TEC).
ייצור ופלט UV
קבוצת גבישים לא ליניארית: קריסטל BBO או CLBO משמש להמרת UV, אשר צריך להישמר נקי וטמפרטורה יציבה.
מראת צימוד פלט: ציפוי נגד השתקפות UV מוחל כדי להפחית את אובדן האנרגיה.
מערכת קירור
מודול קירור מים/קירור אוויר: שמור על יציבות הטמפרטורה של ראש הלייזר, הקריסטל והדיודה (בדרך כלל דורש דיוק טמפרטורת מים של ±0.1℃).
שליטה ואספקת חשמל
ספק כוח במתח גבוה: מודול מיתוג Q כונן ודיודת משאבה.
מערכת בקרה: כולל PLC או בקר משובץ, ניהול הספק, תדר, רוחב פולסים ופרמטרים נוספים.
הגנה על נתיב אופטי
חלל אטום: מלא בחנקן או באוויר יבש כדי למנוע מאור UV לגרום לזיהום רכיב אופטי (כגון דליקות גבישים וחמצון מראה).
2. תקלות נפוצות וסיבות אפשריות
נפילת חשמל או אין פלט
זיהום רכיב אופטי: פגיעה בקריסטל UV (BBO) או ציפוי מראה.
כשל במיתוג Q: חריגה בכונן מתג AO/EO-Q או היסט גביש.
הזדקנות דיודות המשאבה: הנחתה של הספק פלט או כשל בקרת טמפרטורה.
הידרדרות באיכות האלומה (זווית סטייה מוגברת, מצב לא תקין)
אי יישור חלל תהודה: רטט מכני גורם לקיזוז העדשה.
אפקט עדשה תרמית קריסטלית: קירור לא מספיק או כוח מוגזם גורם לעיוות גביש.
יעילות המרת UV מופחתת
קיזוז זווית התאמת שלב קריסטל: תנודת טמפרטורה או רפיון מכאני.
עוצמה לא מספקת של אור תדר בסיסי (1064nm/532nm): בעיית הכפל תדרים לפני שלב.
אזעקה או כיבוי מערכת
כשל בקירור: טמפרטורת המים גבוהה מדי, הזרימה אינה מספקת או החיישן לא תקין.
עומס יתר: קצר מודול מתח גבוה או הזדקנות קבלים.
חוסר יציבות בדופק (תנודות באנרגיה, תדירות חזרות לא תקינה)
הפרעות אות כונן מתג Q: מגע לקוי בכבל או רעש של אספקת החשמל.
כשל בתוכנת בקרה: שגיאת הגדרת פרמטר או באג קושחה.
III. אמצעי תחזוקה
בדיקה אופטית קבועה
נקה את עדשת נתיב האור החיצוני (השתמש באתנול נטול מים ובנייר עדשה) ובדוק אם פני השטח של גביש ה-UV פגומים או מזוהמים.
הערה: הימנע ממגע ישיר עם הציפוי האופטי, ויש לאחסן גבישי UV (כגון BBO) בצורה חסינת לחות.
תחזוקת מערכת הקירור
החלף באופן קבוע מים דה-יונים (כדי למנוע אבנית), בדוק אם הצינור דולף ונקה את האבק על הרדיאטור.
כייל את חיישן הטמפרטורה כדי להבטיח את מהירות התגובה של מערכת הקירור.
אספקת חשמל ובדיקת מעגלים
עקוב אחר יציבות הפלט של ספק המתח הגבוה והחלף קבלים מזדקנים או רכיבי מסנן.
בדוק את קו ההארקה כדי להפחית הפרעות אלקטרומגנטיות.
כיול והשתמש במד כוח ובנתח קרן כדי לכייל את הספק הפלט ומצב ספוט באופן קבוע.
מטב פרמטרים של מיתוג Q (כגון רוחב דופק ותדירות חזרות) באמצעות תוכנת בקרה.
בקרה סביבתית
שמור על טמפרטורה ולחות קבועים בסביבת העבודה (טמפרטורה מומלצת 22±2℃, לחות <50%).
אם המכונה מושבתת לזמן ממושך, מומלץ למלא את הנתיב האופטי בחנקן.
רישום ומניעת תקלות
רשום את קוד האזעקה ואת תופעת התקלה כדי להקל על מיקום מהיר של בעיות (כגון תוכנת Spectra Physics מספקת בדרך כלל יומני שגיאות).
IV. אמצעי זהירות
הגנה בטיחותית: לייזר אולטרה סגול (355nm) מזיק לעור ולעיניים, ויש להרכיב משקפי מגן מיוחדים במהלך הפעולה.
תחזוקה מקצועית: יישור קריסטל וניפוי חלל תהודה חייב להתבצע על ידי היצרן או מהנדסים מוסמכים כדי להימנע מפירוק עצמי.
ניהול חלקי חילוף: שמור חלקים פגיעים (כגון טבעות O, דיודות משאבה, גבישי מתג Q).
אם נדרשת תמיכה טכנית נוספת, מומלץ לפנות לצוות הטכני שלנו ולספק את המספר הסידורי של הלייזר ופרטי התקלה לקבלת פתרונות ממוקדים.
