מכונת חיתוך פרוסות DISCO DFL7341

מכונת חיתוך פרוסות DISCO: מכונת החיתוך הבלתי נראה בלייזר DFL7341 ממקדת לייזר אינפרא אדום עם אורך גל של כ-1300 ננומטר בתוך פרוסת הסיליקון כדי לייצר שכבה שונה, ולאחר מכן מחלקת את הפרוסה לגרגירים על ידי הרחבת הסרט ושיטות אחרות להשגת נזק נמוך, דיוק גבוה, ואפקטי חיתוך באיכות גבוהה. שיטה זו יוצרת רק שכבה שונה בתוך רקיקת הסיליקון, מדכאת יצירת פסולת עיבוד ומתאימה לדגימות עם דרישות חלקיקים גבוהות.

דיוק גבוה ויעילות גבוהה: ה-DFL7341 מאמץ טכנולוגיית עיבוד יבש, אינו דורש ניקוי, ומתאים לעיבוד חפצים בעלי עמידות ירודה לעומס. רוחב חריץ החיתוך שלו יכול להיות צר מאוד, מה שעוזר לצמצם את נתיב החיתוך. לדיסק העבודה דיוק גבוה, הדיוק הליניארי של ציר ה-X הוא ≤0.002 מ"מ/210 מ"מ, הדיוק הליניארי של ציר ה-Y הוא ≤0.003 מ"מ/210 מ"מ, ודיוק המיקום של ציר ה-Z הוא ≤0.001 מ"מ. טווח מהירות החיתוך הוא 1-1000 מ"מ לשנייה, והרזולוציה הממדית היא 0.1 מיקרון.

היקף היישום: הציוד משמש בעיקר לחיתוך פרוסות סיליקון בגודל מקסימלי של לא יותר מ-8 אינץ'. מתאים לחיתוך פרוסות סיליקון טהורות בעובי של 0.1-0.7 מ"מ וגודל גרגר גדול מ-0.5 מ"מ. סימני החיתוך לאחר החיתוך הם בערך כמה מיקרונים, ואין קריסת קצוות או נזקי התכה על פני השטח והגב של הפרוסה.

פרמטרים טכניים: מערכת החיתוך הבלתי נראה בלייזר DFL7341 כוללת מעלית קסטה, מסוע, מערכת יישור, מערכת עיבוד, מערכת הפעלה, מחוון מצב, מנוע לייזר, צ'ילר וחלקים נוספים. מהירות החיתוך בציר ה-X היא 1-1000 מ"מ לשנייה, הרזולוציה הממדית של ציר ה-Y היא 0.1 מיקרון, ומהירות התנועה היא 200 מ"מ לשנייה; הרזולוציה המימדית של ציר Z היא 0.1 מיקרון, ומהירות התנועה היא 50 מ"מ/שניה; הטווח המתכוונן של ציר ה-Q הוא 380 מעלות.

תרחישי יישום: DFL7341 מתאים לתעשיית המוליכים למחצה, במיוחד בתהליך אריזת השבבים, שיכול להבטיח את הדיוק והיציבות של אריזת השבבים, למקסם את פוטנציאל הביצועים של השבב ולשפר את יעילות הייצור. לסיכום, מכונת החיתוך DISCO DFL7341 ממלאת תפקיד חשוב בתעשיות המוליכים למחצה והאלקטרוניקה. באמצעות טכנולוגיית החיתוך המדויקת והיעילה שלה, היא מבטיחה את האיכות ויעילות הייצור של המוצרים.