Stáisiún Tóraithe ACCRETECH UF3000EX

Is gléas braite comhartha leictreach é ACCRETECH Probe Station UF3000EX do gach sliseanna ar gach wafer, atá deartha chun cáilíocht táirgí leathsheoltóra a chinntiú. Úsáideann an gléas teicneolaíocht den chéad ghlúin eile, rud a fheabhsaíonn cumas táirgthe go suntasach trí halgartaim nua agus teicneolaíocht láimhseála sliseog. Baineann a ardáin ais ardluais, íseal-torann X agus Y leas as an gcóras tiomána nua, agus cinntíonn an ais Z cumas ualaigh den chéad scoth agus cruinneas ard. Cuireann struchtúr dearadh an fheiste deireadh le fórsa an eitleáin go hiontaofa tríd an meascán maith de dhearadh struchtúrach agus topology is fearr. Ina theannta sin, déanann an córas próiseála seasamh OTS chun cinn agus an córas ailíniú íomhá wafer dath, chomh maith leis an bhfeidhm mhéadaithe uasta beag atá feistithe, gléas ard-chruinneas agus inoibrithe sa tionscal a dhéanamh ar UF3000EX.

Príomhghnéithe

Ard-luas agus torann íseal: Déanann an córas tiomána nua na hardáin ais X agus Y a reáchtáil go héifeachtach agus go ciúin.

Ard-chruinneas: Cinntíonn an ais Z cumas ualaigh den chéad scoth agus cruinneas ard.

Leas iomlán a bhaint struchtúrach: Déantar an fórsa ar an eitleán a dhíchur trí chomhcheangal maith de dhearadh struchtúrach is fearr agus topology.

Ardchóras suite: Feistithe le hardchóras próiseála suímh OTS agus córas ailínithe íomhá wafer dathanna, le feidhm mhéadaithe uasta beag.

Comhoiriúnacht: Oiriúnach do sliseog trastomhas mór (φ300 mm, suas le 12 orlach), le córas oibriúcháin uathoibríoch, ard-cruinneas a bhrath, tréchur ard, creathadh íseal, etc.

Réimse iarratais

Úsáidtear stáisiún probe UF3000EX go forleathan i dtástáil wafer sa phróiseas déantúsaíochta leathsheoltóra, go háirithe i línte táirgeachta LSI agus VLSI, a fhéadfaidh braite comhartha leictreach éifeachtach agus cruinn a sholáthar chun cáilíocht an táirge agus éifeachtacht táirgthe a chinntiú.