Réamhrá mionsonraithe:
Córas dísnasctha agus smeach-sliseanna go hiomlán uathoibríoch
■ Cumas láimhseála ábhar uathúil de chineál iompróra, go háirithe oiriúnach do fhoshraitheanna leochaileacha 8'' agus atá seans maith go scratch
Is féidir le teicneolaíocht próisis ■Zhuanli, +25μm/+15um_aníos cruinneas a choimeád ar bun fós cumas táirgthe ard in aghaidh na huaire de 12K/H.
■ Cumas láimhseála ábhar uathoibríoch (roghnach)
■ Córas uathoibríoch luchtaithe agus díluchtaithe wafer (roghnach)
■ Soic lasctha uathoibríoch 4 (roghnach)
■ Cumas próiseála sliseanna smeach (roghnach)
■ Sprae diosca gliú le haghaidh réamh-spraeáil (roghnach)
■1 léitheoir barrachóid (roghnach), ar líne (roghnach)
■ Tabhair tacaíocht do bheathú droim ar ais chun táirgí pacáistithe lárnacha measctha a láimhseáil
■ Córas gliú dúbailte XY tiomáinte ag mótair líneach, a úsáidtear le haghaidh taosráin airgid éagsúla, gliúnna seoltacha nó neamhsheoltach
■ Cuirtear an córas lámh táthú rothlach nozzle in ionad an sliseanna ceartúcháin tábla wafer rothlach