Semiconductor equipment
DISCO wafer cutting machine DFL7341

Machine de découpe de gaufrettes DISCO DFL7341

Taille maximale de la pièce mm ø200Méthode d'usinage Entièrement automatiquePlage de vitesses d'avance effectives sur l'axe X mm/s 1,0 - 1 000Précision de positionnement sur l'axe Y mm dans les 0,003/210Dimensions (L x P x H) mm 950 x 1 732 x 1 800Poids kg Environ 1 800

État : Occasion En stock: Oui Garantie: Disponibilité
Détails

Machine de découpe de plaquettes DISCO : La machine de découpe laser invisible DFL7341 focalise un laser infrarouge d'une longueur d'onde d'environ 1300 nm à l'intérieur de la plaquette de silicium pour produire une couche modifiée, puis divise la plaquette en grains en dilatant le film et d'autres méthodes pour obtenir des effets de découpe à faible dommage, de haute précision et de haute qualité. Cette méthode ne forme qu'une couche modifiée à l'intérieur de la plaquette de silicium, supprime la génération de débris de traitement et convient aux échantillons ayant des exigences élevées en matière de particules.

DFL7341

Haute précision et haute efficacité : le DFL7341 adopte une technologie de traitement à sec, ne nécessite pas de nettoyage et convient au traitement d'objets ayant une faible résistance à la charge. La largeur de sa rainure de coupe peut être très étroite, ce qui contribue à réduire le chemin de coupe. Le disque de travail a une haute précision, la précision linéaire de l'axe X est ≤ 0,002 mm/210 mm, la précision linéaire de l'axe Y est ≤ 0,003 mm/210 mm et la précision de positionnement de l'axe Z est ≤ 0,001 mm. La plage de vitesse de coupe est de 1 à 1 000 mm/s et la résolution dimensionnelle est de 0,1 micron.

Champ d'application : L'équipement est principalement utilisé pour couper des plaquettes de silicium d'une taille maximale de 8 pouces. Convient pour couper des plaquettes de silicium pur d'une épaisseur de 0,1 à 0,7 mm et d'une granulométrie supérieure à 0,5 mm. Les marques de découpage après la découpe sont d'environ quelques microns, et il n'y a pas d'effondrement des bords ni de dommages de fusion sur la surface et le dos de la plaquette.

Paramètres techniques : Le système de découpe laser invisible DFL7341 comprend un élévateur à cassette, un convoyeur, un système d'alignement, un système de traitement, un système d'exploitation, un indicateur d'état, un moteur laser, un refroidisseur et d'autres pièces. La vitesse de coupe sur l'axe X est de 1 à 1 000 mm/s, la résolution dimensionnelle sur l'axe Y est de 0,1 micron et la vitesse de déplacement est de 200 mm/s ; la résolution dimensionnelle sur l'axe Z est de 0,1 micron et la vitesse de déplacement est de 50 mm/s ; la plage réglable sur l'axe Q est de 380 degrés.

Scénarios d'application : Le DFL7341 convient à l'industrie des semi-conducteurs, en particulier au processus de conditionnement des puces, ce qui peut garantir la précision et la stabilité du conditionnement des puces, maximiser le potentiel de performance de la puce et améliorer l'efficacité de la production. En résumé, la machine de découpe DISCO DFL7341 joue un rôle important dans les industries des semi-conducteurs et de l'électronique. Grâce à sa technologie de découpe de haute précision et de haute efficacité, elle garantit la qualité et l'efficacité de la production des produits.

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