ACCRETECH Probe Station UF3000EX on sähköinen signaalintunnistuslaite jokaiselle kiekolle jokaiselle sirulle, joka on suunniteltu varmistamaan puolijohdetuotteiden laatu. Laite käyttää seuraavan sukupolven teknologiaa, joka parantaa merkittävästi tuotantokapasiteettia uusien algoritmien ja kiekkojen käsittelytekniikan avulla. Sen nopeat ja hiljaiset X- ja Y-akselin alustat hyötyvät uudesta voimansiirrosta, kun taas Z-akseli varmistaa maailmanluokan kuormitettavuuden ja suuren tarkkuuden. Laitteen suunnittelurakenne eliminoi tasoon kohdistuvan voiman luotettavasti optimaalisen rakennesuunnittelun ja topologian hyvän yhdistelmän ansiosta. Lisäksi edistynyt OTS-paikannusjärjestelmä ja värikiekkokuvan kohdistusjärjestelmä sekä pieni maksimisuurennustoiminto tekevät UF3000EX:stä erittäin tarkan ja toimivan laitteen alalla.
Pääominaisuudet
Suuri nopeus ja hiljainen: Uusi vetojärjestelmä saa X- ja Y-akselin alustat kulkemaan tehokkaasti ja hiljaisesti.
Suuri tarkkuus: Z-akseli varmistaa maailmanluokan kantavuuden ja suuren tarkkuuden.
Rakenteen optimointi: Tasoon kohdistuva voima eliminoituu optimaalisen rakennesuunnittelun ja topologian hyvällä yhdistelmällä.
Edistyksellinen paikannusjärjestelmä: Varustettu edistyneellä OTS-paikannusjärjestelmällä ja värikiekkokuvan kohdistusjärjestelmällä, pienellä suurimmalla suurennuksella.
Yhteensopivuus: Soveltuu halkaisijaltaan suurille kiekoille (φ300 mm, jopa 12 tuumaa), joissa on automaattinen käyttöjärjestelmä, erittäin tarkka tunnistus, korkea suorituskyky, alhainen tärinä jne.
Sovelluskenttä
UF3000EX-anturiasemaa käytetään laajalti kiekkojen testauksessa puolijohteiden valmistusprosessissa, erityisesti LSI:n ja VLSI:n tuotantolinjoilla, jotka voivat tarjota tehokkaan ja tarkan sähköisen signaalin havaitsemisen tuotteen laadun ja tuotannon tehokkuuden varmistamiseksi.