Ang ACCRETECH Probe Station UF3000EX ay isang electrical signal detection device para sa bawat chip sa bawat wafer, na idinisenyo upang matiyak ang kalidad ng mga produktong semiconductor. Gumagamit ang device ng susunod na henerasyong teknolohiya, na makabuluhang nagpapabuti sa kapasidad ng produksyon sa pamamagitan ng mga bagong algorithm at teknolohiya sa paghawak ng wafer. Ang mga high-speed, low-noise na X at Y axis na platform nito ay nakikinabang sa bagong drive system, habang tinitiyak ng Z axis ang world-class na load capacity at mataas na precision. Ang istraktura ng disenyo ng aparato ay mapagkakatiwalaan na nag-aalis ng puwersa sa eroplano sa pamamagitan ng mahusay na kumbinasyon ng pinakamainam na disenyo ng istruktura at topology. Bilang karagdagan, ang advanced na OTS position processing system at color wafer image alignment system, gayundin ang maliit na maximum magnification function na nilagyan, ay gumagawa ng UF3000EX na isang high-precision at nagagamit na device sa industriya.
Pangunahing Tampok
Mataas na bilis at mababang ingay: Pinapatakbo ng bagong drive system ang X at Y axis platform nang mahusay at tahimik.
High precision: Tinitiyak ng Z axis ang world-class load capacity at mataas na precision.
Structural optimization: Ang puwersa sa eroplano ay inaalis sa pamamagitan ng magandang kumbinasyon ng pinakamainam na structural na disenyo at topology.
Advanced na positioning system: Nilagyan ng advanced na OTS position processing system at color wafer image alignment system, na may maliit na maximum magnification magnification function.
Kakayahan: Angkop para sa malalaking diameter na mga wafer (φ300 mm, hanggang 12 pulgada), na may awtomatikong operating system, high-precision detection, mataas na throughput, mababang vibration, atbp.
Patlang ng aplikasyon
Ang UF3000EX probe station ay malawakang ginagamit sa pagsubok ng wafer sa proseso ng pagmamanupaktura ng semiconductor, lalo na sa mga linya ng produksyon ng LSI at VLSI, na maaaring magbigay ng mahusay at tumpak na electrical signal detection upang matiyak ang kalidad ng produkto at kahusayan sa produksyon