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Die ACCRETECH Probe Station UF3000EX ist ein elektrisches Signalerkennungsgerät für jeden Chip auf jedem Wafer, das die Qualität von Halbleiterprodukten sicherstellen soll. Das Gerät verwendet Technologie der nächsten Generation, die die Produktionskapazität durch neue Algorithmen und Waferhandhabungstechnologie deutlich verbessert. Seine Hochgeschwindigkeits- und geräuscharmen X- und Y-Achsenplattformen profitieren vom neuen Antriebssystem, während die Z-Achse eine erstklassige Tragfähigkeit und hohe Präzision gewährleistet. Die Designstruktur des Geräts eliminiert die Kraft auf der Ebene zuverlässig durch die gute Kombination aus optimalem Strukturdesign und Topologie. Darüber hinaus machen das fortschrittliche OTS-Positionsverarbeitungssystem und das Farbwaferbildausrichtungssystem sowie die ausgestattete kleine Maximalvergrößerungsfunktion das UF3000EX zu einem hochpräzisen und bedienbaren Gerät in der Branche.
Hauptmerkmale
Hohe Geschwindigkeit und geringe Geräuschentwicklung: Das neue Antriebssystem sorgt dafür, dass die X- und Y-Achsenplattformen effizient und leise laufen.
Hohe Präzision: Die Z-Achse gewährleistet erstklassige Tragfähigkeit und hohe Präzision.
Strukturoptimierung: Durch die gelungene Kombination von optimaler Strukturgestaltung und Topologie wird die Krafteinwirkung auf die Ebene eliminiert.
Erweitertes Positionierungssystem: Ausgestattet mit einem erweiterten OTS-Positionsverarbeitungssystem und einem Farbwaferbildausrichtungssystem mit kleiner Vergrößerungsfunktion für maximale Vergrößerung.
Kompatibilität: Geeignet für Wafer mit großem Durchmesser (φ300 mm, bis zu 12 Zoll), mit automatischem Betriebssystem, hochpräziser Erkennung, hohem Durchsatz, geringer Vibration usw.
Anwendungsfeld
Die Prüfstation UF3000EX wird häufig bei Wafertests im Halbleiterherstellungsprozess eingesetzt, insbesondere in den Produktionslinien von LSI und VLSI. Sie ermöglicht eine effiziente und genaue Erkennung elektrischer Signale, um die Produktqualität und Produktionseffizienz sicherzustellen.
